中古 LAM RESEARCH 2300 Flex #9157494 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex Etcher/Asherは、効率的で正確なプロセス制御のために設計された、広く使用されている高度なプラズマエッチングおよびプラズマクリーニングプラットフォームです。マルチチャンバーシーケンスレシピを実行し、均一なエッチングを適用したり、確実に再現可能なプロセスでクリーンにすることができます。この装置は、高度なプラズマ技術を使用して、精密な制御でさまざまな材料を沈殿させ、エッチングし、洗浄します。半導体、MEMS、電子、光電子産業の幅広い用途に最適です。このシステムは、プロセスモジュール、ストレージモジュール、ゲートバルブモジュールの3つのモジュールを備えた5軸機械輸送ユニットを備えており、高性能を提供します。各モジュールは、独自のプロセス利点と機能を提供します。プロセスモジュールは、反応性イオンやエッチング化学などの幅広いプロセスガスを提供し、ユーザーは高温、RFおよびDCパワーレベルを含むさまざまなエッチング条件を設定できます。ストレージモジュールは、密封された周囲モジュールまたはクリーンルーム環境のいずれかで処理または保管するための基板を動的にロードおよびアンロードできます。最後に、ゲートバルブモジュールは、重複プロセスのための高速絶縁とガスラインスイッチングを可能にします。2300 Flexにはユーザーフレンドリーなマルチレベルオートメーションマシンが装備されているため、レシピを定義し、プロセスパラメータを制御することができ、スループットを効果的に高速化および最適化できます。また、高度な監視および診断ツールが装備されており、プロセスの可視性とリアルタイムのフィードバックを提供して、プロセスの安定性と信頼性を高めるためにパラメータを調整および修正します。LAM RESEARCH 2300 Flexは信頼性の高いプロセスツールであり、プロセス制御機能の負荷を伴う正確で再現性の高いパフォーマンスを実現します。高度なマルチチャンバーシーケンス設計を採用することにより、1つのツールにさまざまなエッチングおよびクリーニングアプリケーションの統合をサポートします。その堅牢なアーキテクチャは、機械輸送システムとオートメーションシステムの両方を備えており、ユーザーはプロセスパラメータを迅速かつ簡単に設定できます。コスト削減と稼働時間の向上を維持しながら、信頼性の高い反復可能なパフォーマンスを提供します。2300 Flexは、複数の市場のニーズを満たす信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャーです。