中古 LAM RESEARCH 2300 Flex #9062178 を販売中
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ID: 9062178
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Dry etcher, 12"
Non-SMIF
GEM
Wafer OF type: notch at 6 o'clock
TM Robot: Brooks Mag7
EFEM Robot: Brooks (white)
PM: 3-Ch
TMP: (3) Alcatel ATM 1600
Generator: (3) APEX1513/RFDS
Gas Box: Digital gas box
Loadport
2003 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flexは、半導体製造および研究用に特別に設計された多機能、電磁プラズマエッチャー/アッシャーです。エッチング、パッシベーション、酸化物ストリッピング、金属エッチングプロセスを実行する能力を持っています。この装置は、高周波電源、マテリアルハンドリングシステム、プロセスチャンバー、真空ポンプを備えたコンパクトで拡張可能なベースユニットで構成されています。高周波電源は、幅広い電圧、電流、圧力にわたって動作する場合でも、プロセスパラメータの精度と再現性を最大限に高めます。マテリアルハンドリングユニットは、材料の正確で反復可能なローディング、アンロード、および転送を保証します。このマシンは、ロボット、1つまたは複数のロードロックで構成されており、ユーザーの要件に応じて、周囲環境からプロセスチャンバーを分離したり、回転ドラムフィードツールを使用したりすることができます。プロセスチャンバーは、エッチングとアッシングのプロセスが行われる場所です。チャンバーは内部で高周波電源と真空ポンプに接続されており、制御された超高真空環境を提供します。このチャンバーは、優れた光学的に透明な壁と非常に低いアウトガスを持つように設計されており、アセットは高真空と低内圧の両方を維持することができます。2300 Flexは、金属、セラミックス、酸化物、ポリマーなど多くの材料を柔軟に処理するために、さまざまなガスおよび化学部品で構成することができます。フォトレジストの加工・硬化、ウェーハの薄型化にも対応しています。LAM RESEARCH 2300 Flexは、バッチとインラインの両方の生産アプリケーション向けに設計された、ユーザーフレンドリーなモジュラー機器です。これは、信頼性、高いプロセス制御精度、およびエッチングおよびアッシングプロセスに最適な幅広い機能を提供します。
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