中古 LAM RESEARCH 2300 Flex #293604470 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
LAM RESEARCH 2300 Flex Asher/Etcherは、高い信頼性と加工性能の向上を実現する高度な化学エッチング/アッシング装置です。ウエハーや基板を幅広く取り扱うことができ、プロセス制御と精度に優れています。2300 Flexは非常にユーザーフレンドリーで、幅広いアプリケーションに適しています。このユニットには、エッチングチャンバーとヒンジフードが含まれており、プロセスチャンバー全体に簡単にアクセスできます。LAM RESEARCH 2300 Flexは、温度制御精度が1°C以内の優れた温度制御を提供します。このマシンには、ウェーハの積み下ろし用のプラットフォームを提供するためのフィードツールと、ケミカルフィード制御用の多数の分散バルブも内蔵しています。さらに、2300 Flexは、プロセスのパフォーマンスを向上させるためのさまざまな高度なアセット機能も備えています。MPD （Material Parameter Determination）機能を備え、プロセス制御を強化するための重要な材料特性を特定します。このモデルには、すべてのエッチングおよびアッシング時間と温度を制御する自動化されたプロセスコントローラがあり、一貫性のある反復可能な結果を保証します。Asher/Etcherはまた、反応チャンバーへの直接ガス供給と排気を可能にする高度なガス供給装置を利用しています。これにより、プロセスの安定性、ウェーハの均一性、プロセス全体の効率がさらに向上します。このシステムには複数の濾過/分離および封じ込めシステムがあり、オペレータを保護し、高いプロセス品質を維持するのに役立ちます。LAM RESEARCH 2300 Flexの他の機能には、最大6インチの基板に対応できる最先端のウエハハンドリングユニットが含まれています。また、自動チャック温度も備えており、均質で反復可能な結果を保証し、プロセスの再現性を向上させるために自動調整を行います。全体として、2300 Flex Asher/Etcherは、幅広い基板やアプリケーションに対応できる強力で柔軟でユーザーフレンドリーなツールです。それは研究および生産の環境のための優秀な選択で、優秀な性能および信頼性を提供します。
まだレビューはありません