中古 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270660 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex EXは、様々なエッチングガスやアッシャーガスに高速エッチングとアッシングスピードを提供するシングルウェーハエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、最高品質のエッチングと灰の結果を保証するために、高度なFeature Extraction （FE）技術を提供します。FEは、ウェーハごとにプロセスパラメータを自動的に調整し、一貫性のある結果を保証し、スループットを最大化します。また、LAM 2300 Flex EXは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、エッチングと灰のレシピを簡単にセットアップでき、プロセスパラメータを迅速かつ正確に変更できます。このユニットのプラットフォームは、ウェットエッチング、ドライエッチング、パッシブエッチング、ディープエッチング、コーナーリリーフエッチングなど、幅広いエッチングおよびアッシュ容量を提供します。LAM LAM RESEARCH 2300 Flex EXは、さまざまな多層エッチングプロセスに有効です。0。5ミクロンの薄い金属、複雑なクリアランス形状、およびディンプルドリルおよびエッチングされた穴を処理できます。高度な酸化およびチャッキング技術により、アッシングプロセスの制御が向上します。オンボード温度モニタと統合されたアッシング診断により、プロセスのパフォーマンスを最適化できます。マシンのメンテナンス機能には、自動予防メンテナンス（APM）ルーチン、オンボード診断、リアルタイムパラメータ監視、ソフトウェアアップデートをサポートするツールアクセスなどがあります。LAM 2300 Flex EXは、迅速かつ正確なガス供給を可能にし、高度な安全機能により、ユーザーの安全性と規制基準への準拠を保証します。このエッチャーおよびアッシャー資産は、大量生産とコスト効率の高いエッチングと灰の性能に対する需要の増大に対応するのに役立ちます。