中古 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270658 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex EXは、高密度プラズマ処理ニーズに対応する高性能フリースタンディングエッチャー/アッシャーツールです。高度な半導体デバイス製造のための重要な層のエッチングとアッシングを処理するために構築されています。2300 Flex EXには直感的なオープンプラットフォームのユーザーインターフェイスがあり、プロセスとレシピ管理システムに簡単にアクセスでき、最大30のレシピを保存できます。また、優れたプロセス均一性、非常に低い汚染率、優れた基板均一性を提供します。LAM RESEARCH 2300 Flex EXは、優れたエッチング性能を保証するために、さまざまなエンジニアリングプロセス制御技術を使用しています。効率的なエッチングのための高度なプラズマソース制御、リアルタイムプロセス監視のためのAuto-FID （Advanced Fundamental Interface Diagnostics）、クローズドループ処理のためのプロセス制御モジュール（PCM）などがあります。2300 Flex EXは、Windowsベースのオペレーターコンソールも備えており、簡単なセットアップと監視のための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。LAM RESEARCH 2300 Flex EXは、直径200mmまでの基板加工が可能で、エッチングにはリモートプラズマソース（RPS）またはダイレクト励起ソース（DES）を使用します。マシンの設計は、加熱ガスラインとデュアルウェーハカートリッジシャッタートラッキングを使用して、照明プロセスチャンバーと優れたプロセス安定性を提供します。2300 Flex EXはまた、基板の積み下ろしを統合するためのオプションのリモートロック設計も提供します。LAM RESEARCH 2300 Flex EXには、内部ガス供給システムが内蔵されており、ウェーハの背面温度を均一にするためにバックサイド加熱システムを内蔵し、プロセスに最大8個のガスを供給します。また、エッチング後の洗浄には、加工チャンバー内の粒子や残留物を除去するためのin-situクリーン機能も備えています。最後に、2300 Flex EXは、包括的なプロセス最適化とチャンバーメンテナンスのために、プラズマイメージングなどの多くの高度なin-situ診断機能を提供します。LAM RESEARCH 2300 Flex EXは、これらの機能と高度なチャンバーおよびプロセス設計を組み合わせて、高度なプラズマ処理ニーズに最適なツールです。