中古 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9227341 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex EXは、大量生産ニーズに対応した高度なエッチャー/アッシャーです。優れた品質と精密エッチングとアッシングプロセスを様々な基板上で提供することができます。2300 Flex EXは、完全に自動化され、操作を簡素化し、プロセスの安定性を向上させる真空密閉、耐薬品性チャンバーを備えています。このクローズドループ装置は、二重汚染制御機能を備えた反応性および有害物質用のクリーンで安全な蒸発チャンバーを提供します。統合された環境モニタリングシステムは、プロセスの安全性を高めるために組み込まれています。大きい部屋は大きい基質のサイズを可能にし、12 「x12」 x6「ステンレス鋼か水晶基質および6」水晶ウェーハまで収容できます。LAM RESEARCH 2300 Flex EXは、効果的な均一性、カバレッジ、エッチング機能を実現するため、最大6ステップ、12個のガスでエッチングプロセスを実行できます。このユニットには、ターボ分子ポンプ機またはロータリーバッキングポンプとクライオポンプの組み合わせの2つの高性能ガス源もあります。さらに、2300 Flex EXは、プロセスチャンバーを完全にプログラム可能にする高度な制御ツールを備えており、幅広いプロセスおよびエッチング構成を備えています。また、より迅速かつ正確なデータ取得のためのリアルタイムの温度および圧力監視資産、ならびに操作とトラブルシューティングを容易にするための内蔵の診断およびセルフテスト機能を備えています。最新のハードウェアとソフトウェアを使用して、LAM RESEARCH 2300 Flex EXは汎用性と信頼性を手頃な価格で提供し、複数の基板材料およびプロセス用途に最適なエッチングおよびアッシングソリューションです。2300 Flex EXは、シンプルな操作性と安全性を重視した設計により、信頼性の高い高性能な生産ソリューションを提供します。