中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9261420 を販売中
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、優れた金属エッチングとアッシング性能を提供するように設計されたエッチャーまたはアッシャー装置です。ガルバノメータベースの高性能スキャンシステムを搭載し、ウェーハ表面への正確なビーム配信を可能にします。45mJのパルスエネルギーを193nm、 20mJのパルスエネルギーを248nmで発電するデュアル波長レーザーを搭載し、高エネルギーパルスによるエッチング/灰の選択性が高く、露光時間が非常に短い。2300 Flex 45には高度なエッジ検出機能とブランキング機能が搭載されており、マシンは基板のエッジにのみレーザーを集中させることができます。動的スキャン速度制御により、エッチング/灰の速度が一定に保たれ、最適なエッチング/灰の結果が得られます。また、塩素、フッ素、酸素などの幅広いエッチング/灰ガスを正確な流量と注入時間で提供するための強化されたガス供給ツールを備えています。さらに、LAM RESEARCH 2300 Flex 45には、自動ビームセンタリング機能とビームポインティング機能が組み合わされており、高速なオートメーションを実現します。高速なウェハローディングとアンロード機構を備え、最新のRESEARCH機能で簡単にアップグレードできます。さらに、操作構成ツールを使用すると、コンポーネントの個々の設定を調整する必要なく、ガスフロー、ビーム電力、露出時間、エッジ検出などのエッチング/アッシュプロセスパラメータを制御できます。2300 Flex 45は、研究や生産アプリケーションに適しており、優れたエッチング/アッシュ性能を提供します。
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