中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9258555 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、プログレードエッチャーと精密アッシャーの機能を組み合わせた次世代エッチャー/アッシャーです。これは、優れた高性能エッチングの提供を可能にするために、余分な大きなプラズマチャンバーと統合されたスリットフォーカスとトップエミッタ技術で設計されています。2300 Flex 45は、信頼性と一貫したエッチングを実現する高度で強力な50kW RFソースを備えており、最大の生産性とプロセス制御を保証します。プラズマチャンバーは最大180リットルの大容量を備えているため、より大きなエッチング作業に最適です。インテリジェントなスリットステップ検出や、個々のエッチングを連続モードで実行する機能などの機能により、ユーザーはエッチジョブを管理し、最高の費用対効果の高い結果を保証できます。あらかじめ設定されたウェーハ間隔アルゴリズムにより、各ウェーハに正しいエッチング間隔が適用されます。また、イオンエネルギー判別設定も備えており、イオンベースの不純物の除去を正確に制御できます。これにより、長期サイクル寿命でクリーンなエッチングが保証されます。自動化されたプロセス制御システムにより、ユーザーはプロセスパラメータを簡単に設定して最適なエッチング結果を保証できます。このユニットには、最大10個のレシピを保存し、即座に取得する基板メモリが含まれています。LAM RESEARCH 2300 Flex 45には、エッチャーが最適な条件で動作するように完全に自動化された温度制御マシンがあります。さらに、高速クリーンサイクル機能は迅速なクリーニングサイクルを提供し、自動化されたフラッシュツールはエッチャー内部がエッチングサイクル間で徹底的にクリーニングされることを保証します。2300 Flex 45は、使いやすく、優れたエッチング結果を提供する強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。最先端の機能と高度な技術により、産業用および商業用エッチング用途に最適です。最大の制御と安定性を提供し、エッチング結果の改善とエッチング寿命の延長を保証します。