中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9258543 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、全自動エッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、シリコン、ヒ素ガリウム、誘電体、ポリマーなど、さまざまな基板をエッチングするための高性能で費用対効果の高いソリューションです。2300 Flex 45エッチング基板の直径は最大8cmで、再現性が高く信頼性の高い全領域にわたって均一です。このユニットは、100mV/minから2V/minまでの幅広いエッチング条件で高いエッチング速度を達成することができます。また、低圧、高感度のラスタライゼーション、および特定のエッチング工程ごとに最適化できる可変硬化工程も備えています。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、高いエッチングレート機能に加えて、精密なエッチングに理想的なツールです。その高度なプログラマブルロジックコントローラ（PLC）により、基板ローディングから化学プロセスまでのエッチング手順を完全に自動化できます。この機械にまたエッチング工程を通して一貫した温度を保証する内部温度調整用具があり、従って一貫した良質、反復可能な結果を作り出します。このアセットには、化学発煙の吸入リスクを低減する「アークイジェクタ」モデルや、アクティブなグランド障害が発生した場合に電気回路を非活性化する埋め込み地上障害安全インターロックなどの高度な安全機能も備えています。2300 Flex 45には、デジタルアラーム機器が搭載されており、エッチング速度の変化を監視し、プロセスに潜在的な問題が発生した場合にオペレータに警告します。この費用対効果の高いエッチングシステムは、精度と再現性の両方の点で、あらゆるエッチングプロジェクトに最適です。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、半導体、金属、表面接着層をエッチングする必要があるかどうかにかかわらず、最適なソリューションです。