中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255641 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、プラズマエッチングおよびプラズマアッシングプロセス用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーのFLEXシリーズの一部であり、複雑で高温のプロセスを実行する際に優れたプラズマ均一性と高いプロセス精度を特徴としています。このマルチステップエッチャー/アッシャーは、大容量のパラレルエッチングおよびアッシング機能を提供し、最大スループットを提供します。2300 Flex 45は独自のEDGEプラズマ技術を採用しており、優れたステップエッチングとアッシング性能を実現しています。これにより、優れた機能定義と再現性が可能になります。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、バッチモードまたはシングルウェーハ処理用に設計された15インチ径の加工チャンバを備えています。高圧動作が可能で、最大5つの設定可能なプロセスステップが可能です。最大2000ワットの熱予算と最大70 mTorrの圧力予算を処理でき、複雑な処理が可能です。2300 Flex 45は、LAM RESEARCHの最先端のプロセスオートメーション技術も備えており、柔軟性と正確なプロセス制御を提供します。高精度のdOSCコントローラは、すべてのステップで高いプロセス再現性と完全なウェーハカバレッジを維持します。エッチャー/アッシャーは、高いプロセス品質を確保するために、チルティングウェーハチャックと柔軟なウェーハ保持機構を備えており、エッチングおよびアッシュ処理中にウェーハを安全に保ちます。さらに、このシステムには、複数の安全インターロックや、ユニットパラメータの過電圧、温度、圧力、およびその他の多くのパラメータを監視するセンサーなど、多くの安全機能が含まれています。これにより、機械は信頼性、耐久性、および全体的な性能のエッジを提供します。全体的に、LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、優れたプロセスエコノミクスと安全性を提供しながら、高効率と高精度で幅広いプロセスを実行できる高度なエッチャー/アッシャツールです。大容量プラズマ処理アプリケーションに最適です。