中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255633 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、さまざまなエッチングおよび成膜プロセスに使用されるプラズマエッチャー/アッシャー装置です。中型チャンバーにおいて、効率的かつ高性能なエッチングおよび成膜プロセスを提供するように設計されており、生産性が向上します。このシステムには、45 cmの直径チャンバーと、望ましいプロセス性能を提供するLAM Evergreen® Long Life Batch Etched高出力RFジェネレータが含まれています。プロセス圧力範囲は15mTorrから550mTorrまであり、最高温度は300°Cまでです。このユニットは、オプションのPFG（プラズマフッ化物発生器）を使用して、反射防止コーティング（ARC）からウェットクリーニングプロセスまで、複数のエッチングプロセスを提供することができます。さらに、このマシンには、高度なオートメーション機能と高度な真空レベルの診断機能が搭載されています。ロジック制御されたユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、ユーザーはプロセスレシピを作成し、エッチング処理をセットアップして監視し、結果を分析することができます。このツールは、自動安全手順と組み込みの安全リレーを備え、安全性の面でも業界標準を提供しています。高度な信号照明資産は、動作不良のオペレータに警告を与え、潜在的な安全上の問題を示すためにアラームサインが表示されます。このモデルは、合金エッチング、高温プロセス、金属エッチングなど、より厳しいエッチングプロセスに適しています。2300 Flex 45は、より経済的な中間サイズの機器で高度なエッチング/成膜プロセスを探している半導体およびMEMSメーカーに最適です。