中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255625 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex 45（エッチャー/アッシャー）は、多種多様な材料のエッチングおよびアッシング操作を行うために設計された複雑な多次元エッチング装置です。ウエハー、ホイル、薄膜など、さまざまな基板で優れた結果を出すことができます。マルチレベルのマルチチャンバー設計により、エッチングプロセスが正確かつ効率的に実行されます。さらに、2300 Flex 45には高度なエッチング制御技術が搭載されており、2。5 µm 6までの深さに達することができる精密で反復可能なプロセスを可能にします。プラズマガス搬送機の強化により、高アスペクト比のビア、細線パターン、複雑な3D構造のエッチングが可能です。その柔軟性はまた、ウェット、ドライ、および混合プラズマエッチングを含むエッチングのレシピの広い範囲を可能にします。さらに、LAM RESEARCH 2300 Flex 45には精密な圧力制御ツールが採用されており、基板全体にわたって正確なプラズマ密度と均一なエッチング速度を保証します。さらに、直感的なタッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えているため、モデルのセットアップと操作が簡単です。2300 Flex 45には、さまざまな安全機能が搭載されています。これらには、緊急停止機能、汚染防止装置、火災警報システムが含まれます。さらに、ユニットには、エスケープガスからチャンバーを保護するために設計された真空封じ込め機が付属しています。最後に、その精密な制御ツールは、精密なプロセス条件と異なるエッチングレシピ間のクロス汚染の回避を保証します。結論として、LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、多種多様な材料用に設計された洗練されたエッチャー/アッシャーです。精密なエッチングとアッシング機能を提供し、最高水準の精度と品質を満たすことができる柔軟でマルチレベルのプロセスを提供します。その高度な安全機能と真空封じ込め資産は、モデルの安全かつ効率的な動作を保証します。最後に、直感的なユーザーインターフェイスにより、エッチング機器の操作とカスタマイズが容易になります。