中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244870 を販売中
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ID: 9244870
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Etcher, 12"
(3) BROOKS AUTOMATION Load ports
BROOKS AUTOMATION Reliance Loader arm
EDWARDS EPX180NE Dry pump
BROOKS AUTOMATION Mag 7 Transfer arm
(3) Chambers
(3) IH1000 Pumps
(3) ADVANCED ENERGY DOFBC2-084 RF Generators
(3) Gas boxes
Computer
2008 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45エッチャー/アッシャーは、汎用性の高い高度なエッチング/アッシュ機器です。このシステムは、さまざまな基板や材料を効率的かつ迅速にエッチングし、灰にするように設計されています。フレキシブルな2300 Flex 45は、さまざまな材料や基材のエッチング、アッシング、ストリッピング、およびポストアッシュ洗浄に最適です。エッチバックプロセス、フォトマスクエッチング、バックサイド加工など、さまざまな用途に最適です。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、反復可能で一貫した、高精度なエッチングとアッシュ処理を実現するよう設計されています。高度で堅牢なプロセスコントロールを使用して、あらゆるエッチングとアッシュの実行で均一な結果を提供します。このチャンバーには、最適なエッチングパラメータを維持しながら基板温度を低減する高度な冷却技術も装備されています。2300 Flex 45は、高密度エッチング化学でも基板全体の高均一性を確保するように設計されています。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、高精細プロセスビューウィンドウを備えた大きなプロセスチャンバーを備えています。これにより、ユーザーはリアルタイムでエッチングプロセス全体を簡単に監視および制御できます。また、オプションの自動パンニングツールを使用して、カメラが必要に応じてチャンバー内を移動できるようにすることもできます。オプションのマルチガントリーローダーにより、最大8台のウェーハを同時にロードおよびアンロードでき、プロセスのスループットがさらに向上します。2300 Flex 45は非常に設定可能で、パワー、エッチング時間、灰時間、レジスト濃度、エッチング角度、裏面照明など、多くのプロセスパラメータで微調整できます。汚染防止シールド、高度なプロセス監視システム、オプションのレーザーインターロックシステムなどの追加機能も追加できます。これらの機能は、最適なプロセス実行とパフォーマンスを保証するために協力します。このエッチャー/アッシャー資産は厳格な基準に基づいて構築されており、信頼性が高いです。また、最大のモデル稼働時間を保証するプロセスチャンバーのメンテナンスとダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、業界をリードするエッチングシステムの1つであるLAM RESEARCHによって支えられています。
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