中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244869 を販売中
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、大量生産用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。熱予算の要件が低い高度なエッチングとアッシング機能を備えています。このシステムは、最大限の柔軟性を提供する特許取得済みのダイナミックエッチング/アッシュプロセスを利用しています。高精度でスループットの高いウェーハ加工に最適なソリューションです。2300 Flex 45は、最大12インチのラウンドでウェーハを処理でき、最大20ミクロンのダイサイズに対応できます。3つのエッチングオプションがあり、ユーザーは特定のアプリケーションに必要なプロセスパラメータを選択できます。1つ目の選択肢は、プラズマを使用した低温エッチングで、薄型ダイの損傷を引き起こす可能性のあるマイクロチャージを低減する柔らかいエッチングを作成します。第二の選択肢は、より高い温度と熱エネルギーを使用してより積極的で深いエッチングを作成する高温エッチングです。3番目のオプションは、より正確な結果を得るために2つのプロセスを組み合わせたハイブリッドエッチング/アッシュプロセスです。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、エッチングおよびアッシング用途に最適な他の高度な機能を多数搭載しています。組み込みの化学混合ユニットにより、プロセス化学を変更してエッチング/灰の結果を最適化することができます。また、温度、圧力、時間を測定できるマルチモードピロメーターも備えています。また、ウェーハデータのグラフィックプロットを表示して、エッチングとアッシングのプロセスをリアルタイムで監視することができます。このマシンには、事故を防ぐための緊急シャットオフスイッチと圧力監視ツールが内蔵されているなど、いくつかの安全機能があります。そのモジュラー構造は容易な維持および改善を可能にします。アセットは、特定の生産ニーズを満たすようにプログラムすることもできます。2300 Flex 45は、大量生産のニーズに対応できる信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャーです。このモデルの高度なエッチング/アッシュ機能、低熱予算要件、および柔軟なプロセスパラメータにより、エッチングおよびアッシング用途に最適です。
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