中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244839 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、様々な材料の加工に使用されるツールです。エッチャーまたはアッシャーであり、リアクティブイオンエッチング（RIE）を使用して薄い最上層の材料を除去します。この技術は、真空近くの環境で動作し、表面の迅速かつ正確なエッチングと洗浄を可能にします。2300 Flex 45は、1つのプロセスで最大45％のエッチング率を実現するように設計されています。また、真空ポンプを内蔵し、効率的なエッチングを促進する他の機能が含まれています。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、深反応性イオンエッチング（DRIE）や誘導結合プラズマ（ICP）など、他のエッチングツールと並行して動作します。in-situ RIE （RIE-DRIE-ICP）機能を使用して、特定のプロセスのパラメータを測定および予測します。これにより、エッチングの均一性とバッチ間の一貫性が向上します。また、エンジニアが即座に調整できるようにすることで、全体的なプロセス時間を短縮することができます。2300 Flex 45には、高精度の電動XYZステージも搭載されており、あらゆる角度で精度の高いサービスが可能です。これにより、基板の高精度エッチングを最大100µmの精密な深さまで実現します。また、温度コントローラを内蔵しており、エンジニアはエッチング時間や圧力などのプロセスパラメータを制御できます。さらに、このツールには安全エンクロージャと接地保護電圧ユニットが装備されています。運転中の静電気放電（ESD）を防止します。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、エンジニアがさまざまな材料をエッチングできるように設計された汎用性の高いツールです。ガラス、石英、金属、ポリマー、複合材料など様々な基板加工が可能です。また、エッチング速度、エンドポイント選択、選択性など、さまざまな処理パラメータで優れた均一性を提供します。最終的に、2300 Flex 45は、さまざまな材料のエッチングとクリーニングにおいて重要なツールです。