中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9235155 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、スルーホールおよび表面実装技術デバイスを製造するように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。モジュラー型の高度に統合されたシステムで、金属やその他の材料の除去および洗浄のための5つのシングルレベルのプロセス化学物質を備えています。Flex 45は、ICパッケージ、RFIDタグ、大型基板、高周波ICなどのデバイスのクイックターンプロトタイピングおよび製造実行に最適です。Flex 45エッチャー/アッシャーは、プラズマを使用して、ゲルマニウム、スズ、銅、チタン、アルミニウム、金、タングステンなどのさまざまな金属の表面をきれいにする4ステーションのプロセスチャンバーを備えています。Flex 45は、厚さ0。1〜1。75 mm （0。004〜0。069 in）の加工材料をエッチングすることができ、ウェハ厚は最大0。6 mm （0。024 in）に制限されています。このユニットの5つの単一レベルのプロセス化学物質には、塩素、塩化水素、硫黄-ヘキサフルオリド、キセノンフルオリド、酸素-プラズマが含まれます。Flex 45には、プロセス監視および制御機能も装備されています。35以上のセンサーからプロセスデータを取得し、製品の均一性と包括的なツール制御を保証するデータ収集機が含まれています。このツールには、ユーザーフレンドリーな操作のための高度なグラフィックスソフトウェアがあり、エッチングプロセスを正確に制御できます。Flex 45には、粒子制御用のISO 14644クラスに準拠したクリーンルーム設計など、さまざまな安全性と環境機能が装備されています。Flex 45にはシャワーヘッド機能が装備されており、クリーンルームのエジェクターピンやカセットパーツをクリーンルームで清掃し、清潔な作業環境を確保しています。さらに、この資産は、基材、化学物質、汚染物質の排出量が少ない地域環境にも提供されています。2300 Flex 45は、安全性、環境保護、および性能の最高水準を維持しながら、高度なデバイスを生産するために設計された不可欠なエッチングモデルです。直感的なユーザーインターフェイスと包括的なプロセスモニタリング/制御機能を備えた精密エッチング機能により、精密デバイスの生産に最適なツールです。