中古 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #293640239 を販売中
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ID: 293640239
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Etcher, 12"
RF Match
Missing PENDULUM INSTRUMENT Valve
EDWARDS STP-A2203C3
PENDULUM INSTRUMENT 65048-PH52-ADR1 Valve
Manometer:
CM1: E28D-30653 Range 0.1 Torr
CM2: 625A-14059 Range 10 Torr
CM3: 6254-14059 Range 10 Torr
AC Enclosure
Anapaizer board
DC Enclosure power supply
VME Enclosure
CPU VME 7671
Lon control board
VIOP Board step driver
Lonworks IP Server
RF Feed line
ESC Power supply
OES Cable
(3) Noad boards
Helium MFC
Photon controller
Capacitor control board
Interlock board
SCU-1600 TMP Controller
2 MHz, 5000 W Generator
27 MHz, 3000 W Generator
60 MHz, 2500 W Generator
EFEM:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot (151864CUR)
Aligner
Buffer
Cool station
Missing pump
Terminal server
OHT Sensor node board
AGV Node board
Ethernet server
UI Panel
AC Rack:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot controller (175789R)
UPS Power supply
Hard Disk Drive (HDD) Missing
PC
Monitor
Circuit breaker
Load port:
BROOKS AUTOMATION V2 (002-7200-29, 32)
LP1
LP2
LP3
VTM:
L-VAT Door: AL1, AL2 (07512-UA24-ADI2)
Angle valve: AL1, AL2, TM (MKS)
Pressure gauge: AL1, AL2, TM
Rocker valve: AL1, AL2, PM2, PM3, PM4
Magnatran7 VTM ROBOT
Solenoid valve
VTM Motherboard
Node board
Super slot board
GIB Gas box:
V2 (IGS Type)
Damper
No FIB
Gas line:
PM2: 571-033051-12535B1, Gas Line: 12
PM3: 571-033051-12535C1, Gas Line: 12
PM4: 571-033051-12535D1, Gas Line: 12
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
EFEM Pump
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、業界トップクラスの半導体メーカーによって製造された先進世代のエッチャー/アッシャーです。2300 Flex 45は、シリコーン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウム、およびその他の材料でウェーハの精密で信頼性の高いエッチングを提供するように設計されています。LAM RESEARCH製品ラインのこの部分は、高品質の結果と高い生産性が不可欠なアプリケーション向けに設計されています。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、チャンバーあたり最大45ウェーハの大容量を備えており、エッチングおよびアッシング用途向けに独立したポッドで高度に構成可能です。エッチングプロセスは、他のシステムでは使用できないレベルの精度と再現性を提供する強力な制御ユニットによって制御されます。正確な制御のために、2300 Flex 45は、ウェーハ内のパターンをスキャンして正確なエッチング結果を提供する特許取得済みのビジョン装置を使用しています。LAM RESEARCH 2300 Flex 45の蒸着チャンバは、速度、基板温度、圧力を制御して、優れた均一性と歩留まりを持つコーティングを作成することができます。このシステムは、高い歩留まりエッチングを可能にするだけでなく、プロセスのターンアラウンドタイムが速く、各プロセス間のダウンタイムが最小限に抑えられる堅牢な設計で知られています。このユニットの設計により、高温材料だけでなく、低温材料でも作業できます。さらに、最適化されたチャンバー設計により、均一なガス分布とプロセス温度勾配の低減を実現します。2300 Flex 45マシンは、オプションのクライオエッチングユニットで構成することもできます。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、半導体業界でトップクラスのエッチャー/アッシャーであり、非常に堅牢で信頼性の高いツールを必要とするアプリケーションに最適です。2300 Flex 45は、高いプロセスレートと動作温度を維持しながら、均一で反復可能な高収率コーティングを作成する幅広い強力な機能を備えています。LAM RESEARCH 2300 Flex 45は、高精度のエッチングとアッシングを必要とするあらゆる半導体アプリケーションに最適です。
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