中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9205123 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelanは、プロセス改善と再現性のために特別に作成された統合された3チャンバー設計を備えたマルチチャンバー機器であるエッチングとアッシャーの組み合わせツールです。このシステムは、さまざまなエッチングおよびアッシング要件に対応するために十分に装備されており、複数のサイクルにわたって再現可能な結果を持つ優れた精密エッチングおよびアッシングを提供します。2300 Exelanは高度の、独立した部屋制御および統合された冷却装置によって優秀な制御およびプロセス機能、また大きいプロセスウィンドウを提供します。さらに、統合されたグローブボックスは、高価な重要な指示のために処理の清潔さを維持するのに役立ちます。これらのコントロールにより、完璧なエッチングとアッシングが毎回達成されます。LAM RESEARCH 2300 Exelanはまた、エッチングの再現性と可用性の最高レベルを可能にするために、マルチステージプロセスレシピを使用して、最も効果的なエッチング結果を保証します。このコンビネーションツールは、自動チューブスイッチング、構成された基板ローディング、および統合キャリアローディングも提供し、より高いスループットと生産性を実現します。2300 Exelanは完全なクリーンルーム操作およびユーザーの安全を維持する高度の安全および環境保護システムが装備されています。すべてのプロセスガス、排気および有害物質は、機械の統合されたスクラブおよび濾過システムを介して自動的にルーティングされます。このツールには複数のワークフロー構成も付属しており、幅広いプロセスに対応する柔軟性を提供します。全体的に、LAM RESEARCH 2300 Exelanは、優れた精度と再現性を備えた優れた機能を提供する優れたエッチングおよびアッシングツールです。統合された安全システム、包括的な制御機能、および複数のワークフロー構成により、このツールは幅広いアプリケーションに適しており、あらゆる種類のエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。