中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9116018 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9116018
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
Dielectric etcher, 12"
1600 L/S Edwards turbo pump
PM ISO Valve: Chemraz rocker valve
NSR5247 A: Flex Configuration
2300 Exelan quick clean kit
2300 Exelan pend
Valve kit
2300 Exelan gas box
Regulated Inlet (per Gas Line)
(12) Gas configuration
Aera FC-D980CU MFC
NSR5248_A: Line 11 100sccm O2/He (30%)
Delta stacking kit
2300 Platform
(3) FOUP
WIDS BTM Read
User interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Cable: TM-subpanel, 50FT
SYS Calibration and alignment
TM NSR 1: VTM Dynamic alignment
Currently installed
2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelanは、ハイエンド半導体部品の製造に使用される最先端の高品質エッチャーおよびアッシャーです。高度なプロセス制御、独自のクリーンチャンバー設計、精密アンテナを備えており、エッチングプロセスの一貫性と精度を向上させます。2300 Exelanは、高度なRFリフトオフ技術と高解像度、精密なイメージングシステムを組み合わせて、正確なエッチングパターンを生成します。このプロセスは、集積回路やその他の電子部品に精密で立体的な地形を作成します。プロセスで使用されるワット数を制御し、露出時間を調整することで、エッチパターンの精度を制御することができます。LAM RESEARCH 2300 Exelanのユニークなクリーンチャンバー設計は、作業中の最適な清潔さを確保するのに役立ちます。この設計はステンレス鋼のパネルおよびドア、透明な観察窓、二重段階のろ過システム、低い粒子化の完全性および最適化された空気ろ過の流れを特色にします。これにより、汚染を低減し、歩留まりを改善し、腐食の影響を最小限に抑えることができます。2300 Exelanはまたオペレータ、部屋および装置を保護する多数の統合された安全機能が装備されています。火災検知、温度制御、圧力監視システムなどがあります。これにより、エッチングされる部品の損傷リスクを最小限に抑えることができます。LAM RESEARCH 2300 Exelanは、効率的で正確なプロセス制御を可能にする強力なコントローラーユニットを備えています。これにより、エッチング処理が正確に行われ、バッチ間で一貫していることが保証されます。コントローラユニットは、温度、圧力、電圧、電流などのプロセスを簡単に監視することができ、デバイスの動作の品質管理を確実にするのに役立ちます。全体的に、2300 Exelanは精密で信頼できる結果を提供するように設計されている高度で、良質のエッチングおよびashing装置です。その高度な機能は、精密かつ正確なエッチングを可能にすると同時に、高い安全性と品質管理を可能にします。これにより、LAM RESEARCH 2300 Exelanは半導体部品のエッチングとアッシングに最適なツールとなります。
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