中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9054659 を販売中
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ID: 9054659
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
Oxide etcher, 8"
Cass nest plastic, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
(4) Process chambers:
Position 1: 2300 Exelan
Position 2: 2300 Exelan
Position 3: 2300 Exelan
Position 4: 2300 Exelan
Front end load port cassette:
(3) Open cassettes
Backing pumps for TM iPX
User interface option: Side & front monitor UI
Earth leakage breaker ELB
Signal tower
SECS/ GEM
Platform type: Version 2
2300 Exelan options:
Chamber type 2300 Exelan CFE
Upper electrode heated
ESC Cooling dual zone
1600 L/S EDWARDS Turbo pump, 8"
Endpoint detection optical emission spectroscopy
Chamber isolation valve rocker gate valve
2300 Gas box:
Gas system type: Enhanced gas box II
Std stacking kits: 4 PM Stacking kit
Gas line 12 gas configuration
Gas box inlet option: Regulated inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Gas box configuration:
PM1 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM2 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM3 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM4 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
2300 Peripherals:
DFC Backing pumps cust supply
DFC TCU Config LAM supply: (4) 4080 Plus
Gas scrubber: EBARA GTE-3-0WVT
Power distribution module: RPDB
Dry pumps:
TM EDWARDS iPX 100A
PM1 EBARA AA100W
PM2 EBARA AA100W
PM3 EBARA AA100W
PM4 EBARA AA100W
No SMIF interface
2004 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelanは、高度なプロセス要件の広い範囲のために設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。これは、さまざまなプロセスアプリケーションのニーズを満たすためにモジュール式でスケーラブルなマルチツールプラットフォームです。エクセランは、小さなフットプリントで優れたパフォーマンスを提供するために、幅広い設定可能なパラメータとオプションを提供します。このシステムには、高度なマグネトロン源、リアルタイムフィードバックマシンを含む統合サポートユニット、および高度なウエハトラッキングおよび転送機能などの高度な技術が搭載されています。広範なパワーレベル、周波数、およびガスを備えた統合された高度なマグネトロン源は、すべてのアプリケーションに優れた精度と再現性を提供します。Exelanの構成の柔軟性は顧客が彼らの特定の条件を最もよく満たすためにカスタマイズの自身のレベルを選ぶことを可能にします。付属のリアルタイムフィードバックツールは、クローズドループ制御を提供し、ツール全体で簡単に変更および適用できる精密なピンポイントレシピを可能にします。2300 Exelanは、精密アライメント、位置決め、変位センサーと高度なソフトウェアアルゴリズムを組み合わせた高度なウエハトラッキングと転送機能を備えており、卓越したプロセス制御と生産性を実現しています。この広範なコンポーネントは、統合されたハードウェア、ソフトウェア、および通信機能とともに、堅牢で信頼性の高い高度な完全な生産対応エッチングプラットフォームの基礎を形成します。Exelanは、監視、診断、およびアップグレードのための標準イーサネット接続を介してリモートサポートを提供することもできます。この資産により、お客様は独自の要件を満たすためにソフトウェア環境をカスタマイズする柔軟性が得られます。LAM RESEARCH 2300 Exelanは、高度なフル機能を備えたプラットフォームと、幅広いアプリケーションのニーズに対応する柔軟性を提供します。モジュラー設計により拡張性と構成性が可能になり、独自の制御モデルにより精密で再現性の高いプロセスが可能になります。このユーザーフレンドリーなプラットフォームは、将来のニーズに合わせて簡単にアップグレードでき、既存の生産ラインに統合できます。高度なマグネトロン源、統合サポート機器、ウェーハ追跡および転送機能を備えたExelanは、あらゆるプロセス要件に最適です。
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