中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9003988 を販売中

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ID: 9003988
Flex etch system, 8" (3) Chambers 2300 Ver 2.0 Mainframe Robot CDM Cable Lengths (TM to Sub Panel) : 100ft Loaders included Cassette Interface: (3x) Open Cassette 25 Slot Input Buffer Station User Interface: Front Mount Side (3x) 2300 Exelan Flex LEAP Etch Chambers: Kalrez O-rings PM ISO Valve (Chemraz Rocker V) Dual Chiller New Heater for IGS Gases Cable Lengths (EMO/Gateway) : 50ft Quick Clean Kit Service Tool Kit Gas Box: (9) Gas line Config (IGS) (1) Additional Gas line IGS) Heated Gas line Package Gas Interface Box (Covers 3 Process Modules) Gas Box Configuration (MFC: HORIBA STEC Z300) Line# - MFC Type - Gas - Size (sccm) 1 SZ313 C4F8 50 2 SZ313 NSR 50 3 SZ313 Ar 1000 4 SZ313 O2 200 5 SZ313 CO 200 6 SZ313 CF4 200 7 SZ313 H2 500 8 SZ313 CH2F2 50 9 SZ313 O2 3000 10 SZ313 N2 1000 11 SZ313 CHF3 100 12 SZ313 O2 20 RPDB for Dual Channel Pump Exhaust Dilution Box Options: System UPS Support GFI CBs System Calibration & Alignment Kit Signal Light Tower (R-A-G-B-C) 200mm Signal Lamp Tower Mini Environment Air Intake Software: APC Recipe Tuning 2nd HSMS(Fab Common) Support De-installed 2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelanは、シリコンやガラスなどの材料表面に高品質で複雑なパターンを作成するために使用される高度で高精度なプラズマエッチング装置です。エッチング工程を正確に制御できるように設計されており、エッジ効果を最小限に抑えた複雑なパターンを作成できます。エクセランユニットには、高度なイメージングマシンと、正確なパターン制御を可能にする統合パターンコントロールが装備されています。イメージングツールは、エッチングの位置と除去する材料の量の両方を制御するために使用される基板の画像をキャプチャします。このアセットにはクローズドループ式パワーレギュレータも装備されており、エッチング時に出力を正確に調整することができます。機器はソフトウェアを介してプログラムされ、ユーザーは直感的なユーザーインターフェイスでエッチパターンをカスタマイズすることができます。また、高度なクエリ言語を備えており、データの自動評価が可能です。この機能を使用すると、エッチングパターンをすばやく分析し、リアルタイムでエッチング処理を調整できます。エクセランユニットは、半導体生産に使用するために設計されており、シリコンやガラス基板上の複雑なパターンを作成するための最高レベルの精度を提供します。このマシンは非常に信頼性が高く、ダウンタイムを最小限に抑えた低い故障率を提供します。高度なイメージングツール、正確な電源制御、高度なクエリ言語により、ユーザーは正確なエッチングを迅速かつ正確に作成できます。
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