中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9003988 を販売中
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販売された
ID: 9003988
Flex etch system, 8"
(3) Chambers
2300 Ver 2.0 Mainframe
Robot CDM
Cable Lengths (TM to Sub Panel) : 100ft
Loaders included
Cassette Interface:
(3x) Open Cassette
25 Slot Input Buffer Station
User Interface:
Front Mount
Side
(3x) 2300 Exelan Flex LEAP Etch Chambers:
Kalrez O-rings
PM ISO Valve (Chemraz Rocker V)
Dual Chiller
New Heater for IGS Gases
Cable Lengths (EMO/Gateway) : 50ft
Quick Clean Kit
Service Tool Kit
Gas Box:
(9) Gas line Config (IGS)
(1) Additional Gas line IGS)
Heated Gas line Package
Gas Interface Box (Covers 3 Process Modules)
Gas Box Configuration (MFC: HORIBA STEC Z300)
Line# - MFC Type - Gas - Size (sccm)
1 SZ313 C4F8 50
2 SZ313 NSR 50
3 SZ313 Ar 1000
4 SZ313 O2 200
5 SZ313 CO 200
6 SZ313 CF4 200
7 SZ313 H2 500
8 SZ313 CH2F2 50
9 SZ313 O2 3000
10 SZ313 N2 1000
11 SZ313 CHF3 100
12 SZ313 O2 20
RPDB for Dual Channel
Pump Exhaust Dilution Box
Options:
System UPS Support
GFI CBs
System Calibration & Alignment Kit
Signal Light Tower (R-A-G-B-C)
200mm Signal Lamp Tower
Mini Environment Air Intake
Software:
APC Recipe Tuning
2nd HSMS(Fab Common) Support
De-installed
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelanは、シリコンやガラスなどの材料表面に高品質で複雑なパターンを作成するために使用される高度で高精度なプラズマエッチング装置です。エッチング工程を正確に制御できるように設計されており、エッジ効果を最小限に抑えた複雑なパターンを作成できます。エクセランユニットには、高度なイメージングマシンと、正確なパターン制御を可能にする統合パターンコントロールが装備されています。イメージングツールは、エッチングの位置と除去する材料の量の両方を制御するために使用される基板の画像をキャプチャします。このアセットにはクローズドループ式パワーレギュレータも装備されており、エッチング時に出力を正確に調整することができます。機器はソフトウェアを介してプログラムされ、ユーザーは直感的なユーザーインターフェイスでエッチパターンをカスタマイズすることができます。また、高度なクエリ言語を備えており、データの自動評価が可能です。この機能を使用すると、エッチングパターンをすばやく分析し、リアルタイムでエッチング処理を調整できます。エクセランユニットは、半導体生産に使用するために設計されており、シリコンやガラス基板上の複雑なパターンを作成するための最高レベルの精度を提供します。このマシンは非常に信頼性が高く、ダウンタイムを最小限に抑えた低い故障率を提供します。高度なイメージングツール、正確な電源制御、高度なクエリ言語により、ユーザーは正確なエッチングを迅速かつ正確に作成できます。
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