中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9222733 を販売中
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ID: 9222733
ウェーハサイズ: 12"
Oxide etcher, 12"
AC Rack
Power control rack: AC Rack and P/C
(2) Exelan chambers
Gas module for (3) Exelan chambers
Parts
(3) Cable boxes
Vacuum transfer module:
Airlock: Right and left
TM / PM Facility line
Process module 1 and 2:
(2) Exelan chambers
VAT Pendulum value
Missing parts:
(2) BROOKS Load ports
ATM Robot
Wafer alignment
Wafer alignment module
VTM Robot
Turbo pump (ATH 1600M)
Turbo controller
RF System A/C power
Generator (TCP)
Generator (BIAS)
EFEM
MagnaTran 7
Loader
ESC
RF Cart.
LAM RESEARCH 2300 Exelanは、LAM RESEARCH Corporationが設計・製造したエッチング/アッシャー装置です。直径200mmまでのウエハ加工が可能な全自動システムです。このユニットは、シングルウェーハプロセスモジュールとチャンバー加熱化学蒸気供給機を使用しています。2300 Exelanツールは効率的で信頼性が高く、さまざまなサイズと構造のウェーハを処理するのに適しています。チャンバーは15°Cの上下に調節可能な調節可能な温度制御を備えており、精密で再現性のある処理結果を得ることができます。また、均一性を向上させ、精度を高め、ウェーハの損傷を最小限に抑える設計機能を統合しています。LAM RESEARCH 2300 Exelan Etch/Asherアセットは最大760 mTorrのプロセス圧力を持ち、70°Cから350°Cまでの温度で動作できます。ウェーハの搬送工程を装備し、ガス温度の急激な変化によりチップの均一性を低減するシェーカーを搭載しています。また、ウエハー加工時の粉塵を捕捉する低塵フィルターを搭載しています。さらに、ロードロックドアには真空タイトシールと高度な安全機能があり、汚染物質が機器に入らないようにしたり、損傷を与えたりすることがあります。2300 Exelanシステムはまたユーザーがプロフィールの性能を最大限に活用し、再現性を高めることを可能にする高度のプロファイリングユニットが装備されています。このマシンは強力なソフトウェアインターフェイスを備えており、ユーザーはパラメータを制御し、データを監視するだけでなく、操作のためのユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルインターフェイスを提供します。LAM RESEARCH 2300 Exelanは、Si、 GaAs、 Ti、多結晶、アモルファスシリコンなど、幅広い材料のハイスループットエッチング/アッシングに最適なソリューションです。耐久性と柔軟性を念頭に置いて設計されており、今日の市場で最も人気のある信頼性の高いエッチング/アッシングシステムの1つです。
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