中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9121960 を販売中

LAM 2300は、半導体およびMEMS基板にビアなどの小さな機能を迅速にエッチングするために使用されるデュアルチャンバー金属エッチング装置です。エッチングとクリーニングプロセスの両方で使用されるコンポーネントを含む多目的バージョンを備えています。精密ウェットエッチング、ドライエッチング、フッ素エッチング、マグネトロンスパッタリングなど多種多様なエッチングが可能です。これらのプロセスは、単一基板の生産と、より複雑な構造を持つ基板の大規模な生産の両方に使用されます。ユニットには2つの独立して制御されたサブチャンバーが含まれており、それぞれに下向きの円筒形エッチングチャンバーが含まれています。最大350mmまでのウエハー加工が可能で、昇降および回転サセプターを備えているため、さまざまな複雑な構造の正確な向きとエッチングが可能です。各サブチャンバーでは、ウェットエッチングまたはスパッタリングプロセスで個別のカソード/アノードペアが使用されます。この機械には、使用されているプロセスに応じて、非常に広範囲の特殊ガスが可能なガス供給ツールが含まれています。2300には、強力な後処理クリーンラインも含まれており、エッチング処理後に追加の処理を行うことができます。このラインは、HFおよびSC-1ソリューションの使用を含む、攻撃的で穏やかなクリーンの両方を実行することができます。アセットはまた、遅いエッチングと高速エッチングの両方を実行することができ、非常に小さな機能の正確なエッチングを可能にします。LAM 2300はタッチパッド制御と事前プログラムされたレシピも備えているため、迅速かつ効率的な操作が可能です。全体として、2300は非常に効率的で強力な金属エッチングモデルであり、多くの産業および科学的用途に使用されています。2つのサブチャンバーや後処理クリーンラインなどのユニークな機能により、さまざまな基板や構造の迅速かつ正確なエッチングと洗浄が可能です。そのため、現代の多くの製造アプリケーションに不可欠な強力なツールです。