中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9061909 を販売中

LAM 2300は、垂直ロードロックチャンバーとレジストコーティングシステムを組み合わせた真空装置です。レジストコーティングプロセスは、基板上の材料の保護層を堆積するために使用されます。2300は、洗練されたデバイス構造を作成できる汎用性の高いフル機能のユニットです。LAM 2300は、拡散限界のレジストコーティング技術を使用して、ワックス、反射防止、および/または正のフォトレジストなどの材料の保護層を基板に均一に堆積させます。機械はまた層の厚さおよびエッチングの均一性の精密な制御を可能にします。Vacuum Load Lockは、精密エッチングとレジスト蒸着機能を組み合わせて、プロセス条件を正確に制御し、結果を正確に制御することができます。2300は、手動または自動モードで操作できる高度なコンピューター制御ツールです。オペレータは、圧力、温度、時間などのプロセスパラメータを数歩で調整できます。コンピュータ化された制御により、オペレータはプロセスパラメータを簡単に監視および調整でき、プロセスの再現性を確保できます。LAM 2300には、薄くて厚いフィルムをエッチングするためのPZT （Piezo-electro-transferscope）が搭載されています。PZTは電気パルスを基板に正確に伝達するため、アセットは薄くて厚い抵抗膜を正確にエッチングすることができます。ウェーハ、ディスク、ストリップ、その他の同様の基板のエッチングにも使用できます。2300は金属、酸化物、窒化物、およびポリマーを含む材料の広い範囲を、処理することができます。また、毛布やパターンエッチング、フォトリソグラフィ、プラズマエッチングも可能です。この装置は、スピンオンガラスやEUV/UV除菌コーティングなど、さまざまなコーティング化学製品で基板をコーティング、選択、パターン化するために使用できます。LAM 2300はコーティングシステムに非常に有効、信頼できます抵抗します。使いやすく、メンテナンスも容易で、高品質なエッチングを実現し、成膜結果に抵抗することができます。このユニットは、MEMS、薄膜トランジスタ、マイクロアセンブリ部品などの複雑な構造の製造に最適です。このマシンは、高スループットおよび高精度デバイスの製造に最適です。