中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9000118 を販売中

ID: 9000118
Bias match Part no. 832-038915-001.
LAM 2300 Exelan Flexは、量産および超高精度マイクロマシニングアプリケーション向けに設計されたプロフェッショナルグレードのエッチャー/アッシャーです。世界有数のエッチング機器メーカーであるLAM Researchの最新製品です。2300 Exelan Flexは、高速で正確で効率的なエッチング性能を備えています。従来のエッチングシステムと比較して、トータルサイクルタイムが大幅に短縮され、スループットが向上します。この装置は、高度で超小型の設計で構築されており、汎用性が高く、ユーザーがコンパクトなスペースを最大限に活用できるようになっています。また、ロボットアームを統合して設計されており、使いやすさを高めています。ロボットアームは、最適なエッチング精度のために基板の位置と傾きを助けます。4軸ロボットアームは遠隔操作またはプログラム操作が可能で、最大限の制御と再現性を実現します。LAM 2300 Exelan Flexは、他の革新的な機能も備えています。フェムト秒とピコ秒の両方のパルス時間を使用した高性能レーザーを搭載し、優れたエッチング精度、深いハードウェア彫刻、および幅広いカスタムのファインピッチエッチングを提供します。基板エッチング操作は、洗練されたAEPS 3。2ソフトウェアコントローラによって管理されます。これにより、複雑な計算、複数の自動整列、およびオンデマンドの微調整ユーザーエッチングパラメータを実行することで、優れたプロセス制御とデータ精度が保証されます。さらに、圧力密閉型エッチングチャンバーと組み込みの環境モニタリングを搭載し、さまざまな動作条件下で安定した性能を確保しています。これには、プロセス温度コントローラと温度バルブが内蔵されており、信頼性の高い温度フィードバックと制御を提供します。オンボードの酸素コンセントレータは、均一なエッチング性能と再現性の確保にさらに貢献します。予防保全および維持のために、単位は革新的な自己維持機械と組み立てられます。これにより、システムの運用安定性と運用および性能パラメータを監視および制御するための安全で便利な方法が提供されます。このツールには、アラームと警告、手動オーバーライド機能も内蔵されています。全体として、2300 Exelan Flexは、生産および精密微細加工アプリケーションに合わせた最先端のエッチャー/アッシャーです。このアセットは、洗練されたソフトウェアコントローラ、高性能レーザー、4軸ロボットアーム、統合された圧力密閉エッチングチャンバー、およびメンテナンスを最小限に抑えて一貫した信頼性の高いパフォーマンスを実現する効果的なセルフメンテナンスモデルなど、多くの高度な機能を組み合わせています。
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