中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293767136 を販売中

LAM 2300 Exelan Flexは、半導体業界の高精度エッチングおよび表面アッシング用途向けに設計された洗練されたエッチャー/アッシャーです。この機械は金属および酸化物の層を含む材料の範囲の優秀なエッチングおよびashed結果を達成するためにLaser Direct Writeと呼ばれる革新的な技術を使用します。高度なユーザー制御の翻訳ベッドを使用して、レーザービームからパターンをワークピースに転送し、レーザービームを正確に配置し、そのパワーを制御することで機能します。この機器には、さまざまな材料で最適なエッチングとアッシングの結果を保証する独自のソフトウェアも含まれています。2300 Exelan Flexは1-20 Wの力の範囲でレーザーの放出の高度レーザーのダイオードが装備されています。それは1 μ m毎秒1までの深さ率で厚い1つまでの層をエッチングするか、またはashingことができますμ m。この機械はまた、密閉された窒素充填真空チャンバーを備えたチャンバーを備えており、安全で最適なエッチングとアッシングプロセスを保証します。密閉されたチャンバーは、高い精度と再現性を備えたクリーンルーム環境を提供します。さらに、LAM 2300 Exelan Flexには、複数のサーボモーターアクスルを備えた高度なモーションコントロールシステムと、精密な翻訳ベッド調整のために3次元で移動するマシンプリントヘッドが装備されています。レーザーヘッドは、最適なエッチングおよびアッシングプロセスのために、レーザービームの強度、高さ、および望ましいガス流量を制御します。内蔵のコンピュータは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと簡単に操作するための自動化されたプロセスを提供します。2300 Exelan Flexは安全性を念頭に置いて設計されており、窒素パージユニット、低騒音操作、緊急連動機を備えています。その高い精度と再現性は、多数のエッチングおよび表面アッシング用途に適しています。革新的な技術とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、半導体製造に最適です。