中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293767096 を販売中
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LAM 2300 Exelanは実験室のための高度のエッチング/asher装置で、さまざまなサンプルのための精密なエッチングおよびashing解決を提供します。このシステムは、複数のプロセスサイクルを可能にし、さまざまな基板で動作することができます。LAM Exelan 2300は、動的エッチングチャンバーを提供し、均一なエッチングと自動アッシングプロセスを提供します。このユニットはまた、完全に囲まれた窒素パージされたチャンバーを備えており、外部の大気汚染を排除します。Exelan 2300には、操作制御とデータ分析のためのオンボードコンピュータマシンも装備されています。ソフトウェアは、RAMとROMの2種類のメモリを持っています、プログラムの設計とストレージ用。グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を内蔵しており、操作が簡単で、プログラミングやモニタリングに関しては柔軟性があります。LCDタッチスクリーンディスプレイは、特定のガス流量、温度、圧力などのプロセスパラメータを詳細に制御できます。LAM Exelan 2300は、多種多様なエッチングおよびアッシングプロセスを実行することもできます。ドライエッチング、ウェットエッチング、CMPエッチング機能を搭載しており、材料レートを1〜10µm/minまで除去できます。このツールは、最大10000 rpmでウェットエッチングとO2エッチングを実行することもできます。さらに、Exelan 2300は、室温から200°Cまでの温度で制御された条件下で動作します。LAM Exelan 2300は、エッチングおよびアッシングソリューション用の堅牢で信頼性の高いプロセスアセットです。それは高温および速い周期が装備されていて、精密なエッチングおよびashing操作を保障します。オンボードコンピュータモデルは、操作とプログラミングを容易にするためのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、プログラミングとデータストレージ用の個別のメモリは、機器の利便性をさらに高めます。2300 Exelanは精密操作を保障し、エッチングおよびashing解決の最もよい結果を保障する高度システムです。
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