中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293725149 を販売中

LAM 2300は、ラボラトリー環境向けの高度なエッチャー/アッシャーで、200mmまでの基板の高精度エッチングとアッシングが可能です。このユニットは、誘導性、抵抗性、低温性の3つのエッチング技術を備えており、幅広いアプリケーションを実行できます。誘導エッチャー/アッシャーは、交流磁場を生成する誘導コイルを使用して、コンポーネント内の渦電流を誘導して局所加熱を作成します。このプロセスは、最小限の熱損失を生み出し、繊細な部品にエッチングを損傷することなく行うことができます。抵抗エッチャー/アッシャーは、個々の電極に電流を通すことで動作し、局所加熱ゾーンを作成します。この装置はエネルギー変換が必要であり、非均質材料に最適です。極低温処理は、エッチング技術の中で最も正確です。液体窒素浴とハイブリッド熱交換器を使用しています。このシステムは、クーラントが残留熱エネルギーを吸収してコンポーネントの温度を下げ、さらに冷却する真空を作成するために蒸発させる2つの方法で動作します。このプロセスにより、超微細なエッチングとアッシングの結果が得られます。安全面では、2300には過温度警報ユニット、冷却用高圧容器、均一なエッチング温度の圧力均等化機を装備しており、ユーザーの安全を確保しています。LAM 2300の高度なエッチング機能、精度、安全機能により、ラボでのエッチングおよびアッシングのニーズに最適です。半導体ウェーハ、抵抗材料、金属など幅広い材料に適しており、さまざまな形状やサイズのエッチングやアッシュに使用できます。統合された監視および制御ツールにより、プロセスが容易かつ効率的になり、高品質のエッチングと灰の結果が得られます。