中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #9375615 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXは、マイクロエレクトロニクス部品の産業規模の生産のために設計されたエッチングおよびアッシング装置です。最大サイズ（200mm）から最大サイズ（450mm）まで、幅広いウエハサイズに対応できます。独自のセルフクリーニングシャワーヘッド設計により、優れた反応均一性とプロセス時間の短縮を実現します。ポリイミドコーティングされたウェーハプラテンと組み合わされたこのデザインは、低粒子生成を保証します。Exelan Flex FXは、エッチング時間や圧力、均一な温度制御など、さまざまなパラメータ設定を備えています。エッチングの深さと均一性に非常に厳しい公差を与え、最高品質のエッチングとアッシングを可能にします。さらに、このユニットは、エッチング結果を最適化するために、プロセス条件の正確なリアルタイム調整を可能にします。Exelan Flex FXには、数多くの高度な安全機能が搭載されています。これには、過酸化水素ベースの洗浄機が含まれており、チャンバー壁の蓄積を防ぎ、汚染を防ぎます。また、プロセスの安全性を向上させる高度な安全ツールも備えています。これには、危険なプロセスガスを他の資産から分離するための分離室が含まれており、施設内の人員の安全を確保します。さらに、Exelan Flex FXにはプロセス回復機能があり、汚染関連のダウンタイムを最小限に抑えることができます。最後に、Exelan Flex FXは柔軟でプロセス固有のチューニング用に設計されています。このモデルは、ユーザーが特定のプロセスの結果を最適化するためにエッチングシーケンスを調整することができます。これにより、ダウンタイムを短縮し、歩留まりを向上させることができます。Exelan Flex FXは、大量生産のための信頼性と汎用性の高いツールであり、より厳密な均一性公差で優れたエッチングとアッシング結果を提供します。