中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #9359417 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXは、ハイスループット製造用に設計された高度なエッチング/アッシャー装置です。太陽光発電、半導体、MEMS、オプトエレクトロニクス、その他のナノ構造など、幅広い重要なアプリケーションに最大限の柔軟性を提供します。この費用対効果の高いシステムは、安定した高収率でさまざまな材料の複数の層をエッチングするために使用することができます。さらに、そのユニークなデザインは、エッチングの優れた均一性だけでなく、優れた洗浄性能を提供します。2300 Exelan Flex FXは、繰り返し可能で均一なエッチングと高いバッチスループットを必要とするアプリケーションに優れたプロセス柔軟性を提供します。ダイナミックなガスフロー処理により、最大4層の異なる材料を同時にエッチングすることができます。多層エッチングのサポート機能により、異なる材料の同時パターニングとエッチングも可能になります。このユニットの高精度と高速により、複雑なパターンのターンアラウンドタイムが短縮され、サイクルタイムが短縮され、エッチング品質の均一性が向上し、歩留まりが向上します。エッチソースの面では、LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXには、高エネルギー密度エッチングソース（HEDES）と幅広いプロセスガスが付属しており、さまざまなエッチング用途に対応しています。そのHEDESは高エネルギーを生成し、高い異方性を持つ高速エッチング速度を可能にします。また、高度な熱制御マシンが付属しており、再現可能なプロセスのために高温を優れた制御を提供します。2300 Exelan Flex FXは、安全な動作を保証し、偶発的な電力不足による細胞損傷を防止する高度な安全機能を備えています。また、高度な監視機能により、個々のセルのパフォーマンスをリアルタイムで監視できます。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXには、信頼性の高いエッチング安定性を提供する高度な診断機能と、複数のエッチング層における再現性の検証も含まれています。さらに、そのユニークなチャンバーのデザインは、簡単なクリーニングとメンテナンスを可能にする取り外し可能なチャンバーベースを備えています。また、優れたプロセス精度、再現性、および部品構成の変更に適応する柔軟性を可能にする強力なアダプティブ制御システムを備えています。全体として、2300 Exelan Flex FXは、幅広い重要なアプリケーションに対して最大限の柔軟性と信頼性の高いエッチング性能を提供するように設計された優れたエッチャー/アッシャツールです。優れた歩留まりと堅牢なプロセス効率を提供しながら、比類のないパフォーマンス、精度、安全機能を提供します。