中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293826277 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXは、マイクロエレクトロニクスの製造に最適な最先端のプラズマエッチャーおよびアッシャーです。先端材料やデバイス用途向けのエッチングおよびアッシングプロセスで優れた性能を提供するように設計されています。Exelan Flex FXは、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセス要件に対応する柔軟性と、将来の小さな機能サイズのニーズに対応する拡張性を独自の組み合わせで提供します。さまざまなエッチングおよびアッシングチャンバーとソースで構成でき、幅広いアプリケーション要件を満たすことができます。この装置は、エッチングされたフィーチャー間のスループット、均一性、均一なフィーチャーサイズを維持しながら、アスペクト比を制御して高いアスペクト比のフィーチャーを生成することができます。プラズマパラメータを調整する機能や、エッチング速度、バイアス電流、線幅、エッチング機能の選択性などのエッチングパラメータを正確に制御する機能など、高度なプロセス制御機能を備えています。また、強化されたプロセスモニタリング機能とデータロギング機能を備えており、エッチングプロセスの最適化と分析を容易にします。優れたエッチングとアッシング性能に加えて、Exelan Flex FXは、今日のマイクロエレクトロニクス製造プロセスの高度なニーズをサポートするさまざまな機能とオプションを提供します。このシステムは、事故やプロセスの中断を防ぐための高度な安全監視が可能です。また、様々なプラズマケミストリーと互換性があり、幅広い原料を使用することができます。また、リモート診断と監視により、スループットと生産性を向上させます。このユニットには、プラズマプロセスの問題と障害検出の迅速かつ正確な診断を可能にする高度なリモート診断機が装備されています。Exelan Flex FXには、プロセスパラメータを測定し、リアルタイムでエッチングプロセスのリモート監視を可能にするリモートモニタリングツールも含まれています。Exelan Flex FXは、従来のエッチングとアッシングプロセスの両方のニーズを満たすように完全に構成可能です。従来の水平エッチングチャンバーを超えてエッチングとアッシング機能を拡張し、垂直構造のパフォーマンスとスループットを向上させることができます。アセットのモジュール設計により、ポストエッチングとサンプルハンドリングを統合してプロセスのスループットを高速化し、全体的な効率を向上させるオプションも提供します。2300 Exelan Flex FXは、マイクロエレクトロニクス製造のための強力なツールであり、柔軟性、拡張性、高度なプロセス制御機能のユニークな組み合わせを提供します。このモデルは、エッチングとアッシングのプロセス要件の広い範囲に対処するための性能と機能を必要とする人に最適です。