中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293810852 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXは、さまざまな高度なエッチングプロセスのニーズを満たすように設計されたデュアルチャンバーエッチング/アッシャーです。これは、単一のプロセス実行中に化学的およびプラズマエッチング/アッシャーの両方を提供することができ、生産要件のスループットと柔軟性を向上させます。2300 Exelan Flex FXには直感的なHuman Machine Interface （HMI）が搭載されており、直感的なユーザー入力と監視が可能です。HMIはリアルタイムパラメータを表示し、オペレータにプロセスパラメータを正確かつ簡単に監視および調整する機能を提供します。さらに、LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXモデルは多くのソフトウェアシステムと互換性があり、プロセスエンジニアの既存のワークフローと容易に統合できます。2300 Exelan Flex FXは真空および大気の両方の適用の使用のために設計されています。可変スピードコンベア、取り外し可能なガスボックス、調整可能なプロセス圧力チャンバーが装備されています。デュアルチャンバー設計により、複数のエッチング化学物質を同時に使用することができ、チャンバ間のプロセス時間を変化させることができます。LAM RESEARCH 2300 Exclan Flex FXは、プログラマブルな処理パラメータと精度と再現性により、高い柔軟性を実現します。これにより、精密なエッチングレシピを毎回正確に再現することができます。さらに、デュアルチャンバーは、プロセスレシピに関係なく、精密かつ一貫したエッチング性能により、高い歩留まり製品の最大のプロセスウィンドウを提供します。Exelan Flex FXは、真空インターロック、近接センサー、ESDシールド、安全エンクロージャなど、さまざまな安全機能を備えており、オペレータの安全な生産環境を確保します。また、高度なソフトウェア制御機能を使用して、リモートプロセス監視を可能にします。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXは、高いスループットと優れた歩留まりを提供する汎用性の高いエッチング/アッシュシステムです。このユニットは、正確な再現性と高い信頼性で優れたエッチレシピを生み出し、歩留まりを向上させます。高度な制御機能と安全機能、および驚くべきプロセス再現性により、このマシンはさまざまなハイテク用途に適しています。