中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293609173 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXは、フォトマスク操作に使用するために特別に設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。革新的なプロセス制御および管理ソリューションを統合し、高品質のエッチングパターンを生成します。このシステムは、エッチングと剥離率、高い選択性、優れたプロセス安定性、および高い生産性に柔軟性を提供します。これにより、半導体、MEMS、展示技術セグメントの幅広い用途に適しています。レーザービーム、リアクティブイオンエッチング（RIE）、プラズマベースのエッチングプロセスを使用しています。2300 Exelan Flex FXはオープンアーキテクチャで設計されており、ユーザーはエッチングパラメータとプロセスパラメータをカスタマイズできます。この機械は高い再現性、優秀な選択性および優秀なエッチング率を提供します。現場での制御および管理ソリューションにより、ユーザーは複数のプロセスを同時にプログラムおよび制御することができ、プログラミング時間とコストを削減できます。さらに、プロセスの理解と是正措置を改善するためのリアルタイムのプロセス情報を提供します。このツールには、精密なエッチングパターニングとプロセス制御のための超高解像度の3Dイメージセンサーが装備されています。また、ビーム電力と方向を正確に制御するための構成可能なレーザービーム配送資産も備えています。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXは、すべてのエッチングおよびストリッピング作業で最適な結果を保証する自動プロセス制御を提供します。エッチャーは、エッチングプロセス中に望ましい温度を維持するために、特許取得済みの信頼性の高いゲートモデルと正確な加熱および冷却システムで設計されています。さらに、2300 Exelan Flex FXは、エッチングアプリケーションとさまざまな診断ツールを最適化してプロセスのパフォーマンスを監視するための正確な圧力およびフロー制御メカニズムを提供します。この制御モジュールを使用すると、最適なエッチングプロファイルと結果を確保するための機器パラメータを設定できます。高い選択性と最適なエッチングレートにより、デバイスの迅速な完了を可能にします。このシステムは、インターロック、現場でのプロセス制御、オペレータの安全を常に確保する圧力監視などの安全機能も備えています。全体として、LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FXは、精密な制御、堅牢で信頼性の高いプロセス制御、高い忠実度のエッチングパターン、および精密なプロセス管理をユーザーに提供する高度なエッチングユニットです。これにより、フォトマスキング事業や業界をリードするテクノロジーセグメントに最適です。