中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293643636 を販売中
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LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+は、湿式および乾式の両方のプロセスを幅広い用途に対応するように設計された、高効率のエッチャー/アッシャーです。これは、生産性とスループットを最大限に高めるための堅牢な機器アーキテクチャと、特に乾燥プロセスでの優れたプロセス均一性のための改善された冷却機能を備えています。2300 Exelan Flex EX+には独自の低圧塩素ベースのガス注入システムが搭載されており、従来のエッチングシステムと比較してガス濃度をはるかに低いレベルで活用できます。これは、優れた温度均一性とともに、さまざまな材料でエッチング速度を正確に制御するため、高度なプロセス統合および精密エッチング用途に最適です。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+は、均一性、再現性、および最適化されたプロセス制御のために設計された高度なユニットアーキテクチャも備えています。2300 Exelan Flex EX+は、さまざまな基板サイズとジオメトリに対応する高度で柔軟な設計オプションも備えています。その3ゾーンポンプマシンは、すべての処理モジュールにわたるすべての基板サイズ要件を最適化し、完全な均一性、均質性、エンジニアリング制御を提供します。独自の多軸構成可能なエンドエフェクタにより、ターゲットモジュール内の基板の信頼性が高く、スムーズな位置決めが可能であり、精密かつ再現性の高いプロセス実行が可能です。安全性に関しては、LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+には、適切な基板転送と正確なプロセス制御を保証する高度なプロセスモニタが付属しています。また、最適なパフォーマンスとプロセスの一貫性を確保するためのさまざまな微調整および診断ツール、および予期しない問題のトラブルシューティングを可能にするリアルタイムプロセスフロー監視も提供します。要約すると、2300 Exelan Flex EX+は、優れたエッチング機能、堅牢なツールアーキテクチャ、改善された冷却、さまざまな基板の柔軟な設計オプションを提供する最先端のエッチャー/アッシャーです。エッチングプロセスの精度と再現性を考慮して設計されており、プロセス制御と安全性を向上させる高度な機能を備えています。
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