中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293641915 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293641915
ウェーハサイズ: 12"
Etcher, 12"
Aligner
BROOKS Express load port
571-810321-10598 EFEM
BROOKS 138150 Robot
571-810320-10598 VTM
108000-37 VTM Robot magratran 7
101543506270005 AC Rack
108358 Robot controller
571-035344-10598 GIB
(3) Process Modules (PM)
853-243881-001 Generator cart
RPDB
Gas box:
Part number / Line / Description
571-033051-001 / 16 / IGS Gas box
571-033051-002 / 16 / IGS Gas box
571-033051-003 / 16 / IGS Gas box
Missing parts:
(2) Signal tower lamps
(3) 853-040482-600 Matchers
(3) 660-080455-300 Generators, 2MHz
(3) 660-072825-200 Generators, 27 MHz
(3) 660-072826-200 Generators, 60 MHz
(3) 628D-26910 CM1 BARATRON Manometers, 100 mT
(3) EI-R04M Turbo pump TMP-2804LMC Controllers.
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+Etcher/Asherは、幅広いエッチングおよびアッシングプロセスで優れた結果を保証するように設計されたコンパクトでパワフルなマシンです。カウンタードーピング研究や高効率イオンビームスパッタエッチングなど、さまざまな生産・研究用途に最適です。エッチャーには、最高のパフォーマンスと信頼性を提供できるさまざまな機能が装備されています。この装置は、経済的な動作を保証する固定速度の排気ブロワーで構成されており、部品を損傷するリスクなしにシステムを長時間稼働させることができます。これは、エッチング速度と均一性を細かく制御することを可能にする多くの高度な機能で設計されています。Exelan Flex EX+は、塩素、臭素、フッ素、硫黄、アルミニウム、チタンエッチング剤など、幅広いエッチング化学製品が可能です。金属基板、セラミック基板、ポリマー基板など、様々なサイズ、形状、厚みの加工が可能です。特許取得済みのリアクトエレクトリックリダクションマシンにより、最大6箇所のウェーハ加工場所でエッチング処理が可能です。このツールは使いやすく、研究、シングルロット製造、バッチ生産に最適です。これは、優れた表面品質と粒子制御だけでなく、チャンバーの全長全体にわたって高い均一性を提供します。広範な安全機能は、資産の長寿命を保証するだけでなく、市場で最も安全なエッチャー/アッシャーのシステムの1つにもなります。究極の信頼性のために設計されたExelan Flex EX+は、一貫して信頼性の高いパフォーマンスを提供するため、多くのエッチングおよびアッシングプロセスに最適なソリューションです。効率的な省スペース設計により、さまざまなラボや生産設定に適合できます。2300 Exelan Flex EX+Etcher/Asherは、優れた結果を確実に提供する信頼性の高いモデルです。
まだレビューはありません