中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293619655 を販売中
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ID: 293619655
ウェーハサイズ: 12"
Dielectric etcher, 12"
EFEM
AC Rack
VTM
(3) Gas boxes
GIB
(3) PM
(2) LP
Pallet: Cable and chiller hose
RPDB Rack
Process kit
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(2) / - / Signal tower lamp assembly
(1) / 685-068190-004 / Gaille board
(1) / 685-068191-004 / Gap drive
(1) / 685-319860-001 / Iron server
(1) / 605-109114-001 / CPU Board
(1) / 857-019053-004 / ATM Robot
(1) / 799-000492-003 / VTM Robot body
(1) / - / VTM Robot arm
(1) / 810-066590-004 / Stepper board
(3) / 853-040482-600 / 3-Frequency matcher
(3) / 660-080455-300 / 2 Mhz Gen
(3) / 660-072825-200 / 27 Mhz Gen
(3) / 660-072826-200 / 60 Mhz Gen
(1) / 810-800256-207 / Node Board
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / 2/8 Add / OES Unit
(1) / 2/8 Add / APC Actuator board
(1) / 2/8 Add / V10P Board
(1) / 2/8 Add / LTC Board
(1) / 2/8 Add / VME Box (I/B+M/B).
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+は、半導体メーカーに信頼性と正確なエッチングとアッシングソリューションを提供する高度なエッチャー/アッシャー機器です。このシステムは、ホットCVD、プラズマエッチング、真空技術など、複数の技術を使用した高度で完全に自動化されたシングルウェハデバイスです。大型チャンバーを備え、直径300mmまでの拡張ウェーハにも余裕があります。チャンバーは不活性ガスで満たされ、エッチングとアッシングのための非常にきれいな環境を提供します。精密モーションツールを備えており、非常に正確なエッチングとアッシングを提供します。このアセットは、プログラマブルなエッチングとアッシングのレシピも提供します。これにより、精密なプロセス制御が可能になり、ユーザーは正確な結果を得るためにエッチングとアッシングパラメータを調整することができます。このモデルはまた、高い固有のエッチング品質と均一性を備えており、信頼性と再現性の高いプロセスを可能にします。2300 Exelan Flex EX+には、プロセスの信頼性を保証する高度な安全機能も装備されています。これらの安全機能には、設定された制限を超えた場合のエッチングおよびアッシングプロセスの自動終了、過熱損傷を防ぐための温度監視、および結果データロギングが含まれます。これにより、ユーザーはプロセス関連の問題をすばやく特定できます。全体として、LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+は半導体製造に最適なエッチングおよびアッシングソリューションです。この装置は信頼でき、精密運動システムおよび事前プログラム可能な調理法が原因で優秀な一貫した結果を、提供します。その安全機能は、プロセスの信頼性も保証します。このユニットは、あらゆる半導体エッチングおよびアッシングのニーズに対応する信頼性の高い高性能ソリューションです。
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