中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9292910 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45は、ターボ分子ポンプアセンブリを直接駆動するOn-Axis加工チャンバーを搭載したエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、低ダウンタイムとプロセス変動性で、エッチングプロセスの高速かつ正確な制御を提供します。On-Axis加工チャンバの設計により、ウェーハの全領域におけるウェーハの均一で再現性の高いプラズマエッチングを同時に実現し、高いスループットと正確なプラズマ均一性を実現します。このチャンバーはターボ分子ポンプアセンブリの直接駆動も可能で、ポンプ効率が向上し、メンテナンス要件が大幅に低減されます。このエッチャー/アッシャーはポリシリコンエッチングを可能にし、On-Axis加工チャンバはエッチング処理の微調整を容易にする調整可能な機能を備えています。Exelan Flex 45の強力なジェネレータは、エッチング電力、周波数、プロセス圧力などの主要なエッチングパラメータを正確に制御します。この発電機には、化合物や材料を選択的にエッチングするために使用できる「閉じた」トロイド磁石を備えた高純度の遠隔プラズマ源（RPS）も含まれています。エッチャー/アッシャーには、データロギングおよびモニタリングシステムを備えた広範な安全機能が含まれており、最大公称圧力とチャンバー温度を保証します。さらに、Exelan Flex 45のクローズドループシステム制御技術は、エッチングパラメータを最適なレベルに保つことにより、ウェーハの均一性、生産性、信頼性を向上させます。さらに、Exelan Flex 45は、さまざまなエッチング処理に幅広い用途を持っています。ケミカルディープエッチング、コンタクトエッチング、イオンミリング、リアクティブイオンエッチング、アッシング、放電チャンバーエッチングなど、さまざまなエッチングに使用できます。エッチャー/アッシャーは、450ºCまでの高温機能と、オゾン、酸素、窒素などの有害な副生成物を除去できる専用の局所排気システムでも設計されています。Exelan Flex 45は、アルゴン、ヘリウム、水素、窒素などのさまざまなガスと互換性があり、その用途に応じて少量から大量のガスを処理することができます。Exelan Flex 45は、効率的で汎用性の高いエッチャー/アッシャーで、再現可能なプラズマエッチングとアッシング結果を提供します。On-Axis加工チャンバの設計とクローズドループのシステム制御技術により、スループットとウェーハの均一性を最大化し、ダウンタイムとプロセスの変動を最小限に抑えます。このエッチャー/アッシャーは、さまざまなエッチングプロセスに理想的なツールであり、その幅広い用途と安全機能により、あらゆるラボに貴重な追加が可能です。