中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9292907 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45
ID: 9292907
ウェーハサイズ: 12"
Dielectric etcher, 12".
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45は、最新のデバイス製造および半導体生産のニーズを満たすように特別に設計されたユニークなエッチャー/アッシャーです。これは、統合されたプロセス制御、エッチングパラメータの広い範囲と高速エッチングを備えた完全に自動化された機器です。このシステムは、片面と多面の両方のエッチングプロセスに適しており、高品質で費用対効果の高いソリューションを提供します。LAM 2300 Exelan Flex 45は、高度な基板モーションユニット(SMS)を使用して、エッチングプロセス全体で基板を正確に移動させます。基板は密閉されたチャンバーに配置され、プロセスパラメータが正確に制御され監視されます。統合されたプロセス制御により、高いレベルの再現性と一貫性が保証されます。機械にさまざまな適用特定の条件のために調節することができるプロセスパラメータの広い範囲があります。このようなパラメータには、温度、圧力、流量、ガスの種類などがあります。エッチングプロセスパラメータの大部分は調整可能で、高い柔軟性が得られます。これは、生産歩留まりを最適化し、特定のアプリケーションのエッチングプロセスを微調整するために使用できます。さらに、洗練されたウェハマッピング技術を使用して、製品の生産性と再現性をさらに高めることができます。インテリジェントなプロセス制御機能は、効率的なリアルタイム監視とプロセス結果の分析も提供します。LAM LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45は、モダンなクリーンルームを念頭に開発されています。ユーザーの利便性と安全性とパワーと精度を兼ね備えています。このツールには、ユーザーフレンドリーで高度にグラフィカルなオペレータインターフェイスが装備されており、プロセスパラメータをリモートで監視および制御できます。このアセットには、リモート診断機能が内蔵されており、技術的な問題をリモートでトラブルシューティングできます。LAM 2300 Exelan Flex 45の信頼性と一貫したエッチング品質は、デバイス製造および半導体製造に最適です。LAM LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45は、幅広いカスタマイズ可能なパラメータ、高エッチング率、統合されたプロセス制御、および強力な診断モデルにより、費用対効果の高いエッチングアプリケーション向けの比類のないソリューションを提供します。
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