中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9252457 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45は、今日の高度に統合された次世代デバイス製造プロセスで優れた性能と安定性を提供するエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーのこのモデルは、最高の精度と精度で直径45インチまでの大きな基板を処理することができます。2300 Exelan Flexは、ウェットエッチング、ドライエッチング、レジストストリップ、アッシング、埋め込みエッチングなどのさまざまなプロセスに対応する高度なソースチャンバーを備えています。このチャンバーは、均一で一貫したエッチングスループットを確保するためのデュアルゾーン熱制御と、効率的な処理のための完全に自動化されたローディングおよびアンロード装置を備えています。このチャンバーには、効率的なエッチングのためのガウス光子ビーム源も含まれており、プロセス時間が短縮され、エッチング速度が最大化されます。2300 Exelan Flexは、正確で信頼性の高いエッチングとアッシングのためのさまざまなプロセス制御機能も備えています。これには、RFおよびDC電源制御、圧力制御、基板バイアス、および均一な温度制御が含まれます。この高度なシステムはまた、プロセス監視ユニットを備えており、エッチングまたはアッシング処理が正確かつ一貫した方法で実行されることを保証します。2300 Exelan Flexには、ウェーハをプラテンに配置するための自動アライメントマシンも含まれています。このツールは、手動で介入することなく、5µm未満のアライメント精度を達成することができます。さらに、その圧力制御アセットは、エッチングまたはアッシング処理中にウェーハ上で均一な圧力供給を保証します。2300 Exelan Flexには、エッチングプロセスの安全性と精度を確保するために、デュアル絶縁インターロックモデルなどの高度な安全対策も含まれています。また、アラーム監視装置を備えており、プロセスの変更が発生したときに警告信号が聞こえるため、オペレータはシステムを迅速に評価して調整することができます。最後に、そのリモートサービス機能は、エッチャー/アッシャーの簡単かつ便利なメンテナンスを可能にします。2300 Exelan Flex 45はパワフルなエッチャー/アッシャーで、次世代デバイス製造プロセスに優れた性能と安定性を提供します。その高度な機能と安全対策により、正確で信頼性の高いエッチングとアッシングが安全で効率的で費用対効果の高い方法で行われます。