中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9242075 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45は、湿式、乾式、特殊エッチング処理をサポートするエッチャー/アッシャーです。このツールは、さまざまなアプリケーションに精密なエッチング機能を提供することができます。シングルウェーハ機能を備え、ウェーハマーキングや高精度のフォーカススポットアライメント、チルトコントロールが可能です。このツールは、エッチング機能の厳しい要件を満たすために、非常に高いレベルの均一性、再現性、および精度を達成するように設計されています。2300 Exelan Flex 45は、耐久性のあるステンレス製の壁と頑丈な製造部品から構成されており、優れた安定性と低振動レベルを提供し、精密なエッチング操作を実現します。エッチャー/アッシュは、精密な周波数チューニングを備えた統合されたRF制御システムを備えており、エッチプロファイルの最適な均一性、再現性、および均一性を幅広いエッチング要件にわたって提供します。また、RFシステムを使用すると、2つのエッチングモードを切り替えることができ、高速エッチングとディープエッチングをサポートします。このツールはまた、最適なパフォーマンスを確保するための高度な機能の数が装備されています。例えば、LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45は、一貫したエッチング結果を保証するために自動化されたソフトウェア制御で設計されています。さらに、このツールは、ウェーハ全体の温度変化を検出および調整して均一なエッチング結果を得ることができるサーマルイメージングカメラを備えています。このツールには、サンプルの過剰露出を防ぎ、機器の損傷から保護する自動保護システムも含まれています。2300 Exelan Flex 45エッチャー/灰は、現在利用可能な最高レベルの一貫性、精度、再現性、均一性を提供します。このシステムは、金属や半導体材料をエッチングする必要がある多くのユーザーに最適なソリューションを提供します。堅牢な構造と優れた機能により、LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45は、最も要求の厳しいタスクでも実行できる汎用性の高いツールです。