中古 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9015441 を販売中

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45は、主に半導体業界で使用される高度なエッチャーおよびアッシャーです。精密なエッチングと小さな機能のアッシングの両方を提供するように設計されており、工具の自動制御とプロセス全体の正確な均一性を備えています。Exelan Flex 45は、アスペクト比の高い機能、ウェーハの薄型化、45度の角度付きエッチングアプリケーションなど、さまざまな基板やプロセスに柔軟に対応できます。Exelan Flex 45は、プラットフォームとプロセスハードウェアをさまざまな真空ポンプ、ロードロック、ソースモジュールと統合するツールのクローズドアーキテクチャを備えており、目的の結果に合わせてプロセスを柔軟に調整できます。このレベルの統合ハードウェアにより、プロセスの精度が向上し、運用コストが削減され、迅速なウェーハスループットが保証されます。エッチャー/アッシャーは組み込みプロセスコントローラによって制御され、オペレータはグラフィカルユーザーインターフェイスで各エッチングプロセスをリアルタイムで監視できます。組み込みプロセス制御により、事前にプログラムされたレシピのセットアップとプロセス制御が可能になり、エッチレシピを実行するたびに正確で繰り返し可能なプロセスが提供されます。Exelan Flex 45は、高度なエッチングチャンバー設計も備えており、均一性を高め、プロセス中のウェーハ洗浄を改善し、クロスコンタミネーションを最小限に抑えることができます。フルプラットフォームの真空構造は、微粒子の侵入を最小限に抑え、貴重なハロゲンエッチングされたエッチング剤の損失を低減するのに役立ちます。エッチャー/アッシャーには、緊急遮断スイッチ、可聴アラーム、および高温や化学蒸気への偶発的な暴露を防ぐクローズドアーキテクチャシステムなど、さまざまな安全機能が装備されています。これらの機能により、オペレータとバイスタンダーが動作中も安全に保たれます。2300 Exelan Flex 45は、最高の精度と再現性をお探しの方に最適なエッチャー/アッシャーです。統合されたエッチングチャンバー設計と自動化されたツールコントロールにより、ユーザーは各エッチングが正確な結果を生み出すことを信頼できます。さらに、さまざまな安全機能を備えているため、ユーザーはオペレータやバイザーが安全かつ安全に保たれていることを確信できます。