中古 LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo #9172842 を販売中

LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo etcher/asherは、精密なエッチング、アッシング、およびその他の材料処理を必要とする高スループット用途向けに設計された、強力でコンパクトな装置です。シングルステップエッチングとアッシング、およびエッチング/アッシングの組み合わせを提供し、均一性を確保しながらサイクルタイムを短縮します。このシステムは、ウェーハから基板までの距離を調整可能にし、ガス能力を強化し、スループットと稼働時間を向上させるための「ガルウィング」ノズル設計、および迅速なトラブルシューティングのための組み込みサイクル診断スイートを備えています。このマシンには2つの統合されたプロセスチャンバーが装備されており、それぞれ最大8つのウェーハを同時に操作することができ、1時間あたり最大のタスクを可能にします。この構成により、2300 e5 Kiyoエッチャー/アッシャーは、プラズマエッチング、プラズマアッシング、露出シリコンエッチング、および露出表面酸化エッチングモードで動作できます。このユニットは、窒素、窒素酸化物、酸素、ヘリウムなどのガスを利用したハイエンドの熱酸化およびCVDプロセスにも使用でき、最大1150°Cのプロセス温度を達成することができます。LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo etcher/asherは、より長い製品寿命とウェーハエッジ保持性を向上させるための精密加工された金属酸化物硬化を備えています。また、硬化面は放電問題を防ぐ設計となっており、安全性も向上しています。このマシンは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と自己診断機能を備えたカスタマイズ可能なコントロールインターフェイスを備えています。GUIはリアルタイムのマシン条件を表示し、ユーザーは最適な結果を得るためにさまざまなオンザフライのレシピ調整を実行することができます。このマシンは、最大の稼働時間と信頼性を確保するために堅牢な材料で構成されており、手動、半自動、完全自動化など、あらゆる環境に統合されるように構成されています。包括的なオプションとプラグアンドプレイコンポーネントにより、プロセスやアプリケーションに合わせてツールを簡単にカスタマイズできます。その設計はまた容易な維持を容易にし、処理の間に消耗品およびハードウェアを制御する統合された、自動化された診断アルゴリズムのような付加的な部品および付属品と拡張することができます。さらに、2300 e5 Kiyo etcher/asherは、環境および健康基準に準拠しています。