中古 LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX #9237727 を販売中

LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EXは、幅広い素材に対応できるように設計された強力で多機能なエッチャーとアッシャーです。この装置には、LAMの自動エンドポイント検出（AED）技術が組み込まれており、正確な結果制御を提供し、ビームおよびレシピパラメータの最高の柔軟性を提供します。このシステムは、4つの独立したレジストソースを提供し、より効率的で正確な結果と複数のウエハ処理機能を提供します。このユニットは、エッチング深さ、エッチング速度、エッチング面積、処理パラメータの再現性、および優れた均一性を正確に制御します。エッチングとアッシャーツールは、複数の実行速度と処理速度の最適化のために構築されています。2つの独立した反応チャンバ、サンプル材料除去用のEビームユニット、および一度に複数のウェーハをアンロードおよびロードできるロードロック構成を備えています。この機械はまた、厳しい温度と圧力制御、およびユーザー定義の要件に合わせてさまざまな化学ガスを備えています。2300 e4 Flex EXはまた、より高いスループットと厚いフィルムを可能にする幅広いビーム電流を備えた柔軟なビーム構成を提供します。このツールは、自動エンドポイント検出（AED）、自動レベルプロファイリング（ALP）、プログラマブルなレシピクリーンアップルーチン、エッチングとアッシングプロセスを最適化するためのさまざまなセンサインターフェイスなど、さまざまな構成可能な機能も提供します。また、長期的なクリーンルーム操作のためのセラミックライナーを備えています。アセットのインターフェイスはユーザーフレンドリーで使いやすく、迅速かつ正確なパラメータリセットを可能にします。また、このツールにはリアルタイムモニタリングモデルが装備されており、各ウェハランの進行状況を追跡するのに役立ちます。このデバイスには、クイックレシピ作成用のオンボードレシピジェネレータが含まれており、内蔵のガス管理機能がガス使用量を監視するのに役立ちます。さらに、LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EXには、プロセスデータのトレーサビリティ用のRFIDリーダーが付属しています。この効率的で信頼性の高いエッチングおよびアッシャーツールは、短時間で最適なパフォーマンスを必要とするユーザーに最適です。効率的なウェーハスループット、均一性、正確な結果を提供し、ユーザーの介入を最小限に抑えます。その先進的な機能により、半導体、MEMS、医療、LEDデバイス製造など、さまざまなアプリケーションに適しています。