中古 LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 #9143213 を販売中

LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104は、主に半導体製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、多種多様なプラズマベースのプロセスで継続的に動作することができるフル機能の高速生産ツールです。これは、アルミニウム、銅、二酸化ケイ素、有機材料のエッチングを含む幅広い用途のために、深い反応性イオンエッチング（DRIE）モードと浅い溝の形成（STF）モードで動作するように設計されています。12123-1-D-00162104エッチャー/アッシャーには、20 「x 15」サイズのプロセスチャンバーがあり、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスを同時に行うことができます。チャンバーにはダイレクトドライブモーターが装備されており、優れた結果と反復可能な結果を提供するために正確なガスの流れを提供します。これは、最適なプロセスパラメータを構成するための高度なプロセスコントローラを備えており、既存の生産作業と互換性があるように設計されています。LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 Etcher/Asherは、エッチングに優れた均一性を提供するように設計されており、より高い生産性と製造品質を実現しています。ウェーハとエッチングマスクの両方にわたってエッチング速度を制御する機能を備え、クリティカルレイヤーの正確なエッチングを提供します。また、高度なガス分配システムを備えており、パターン化された特徴の均一なフィルムを確保するのに役立つガスを均等に分配します。これにより、層が均等に堆積し、安定した運用と生産の信頼性が確保されます。装置は警報システムが装備され、温度および圧力モニター警報を提供します。また、プロセスチャンバー内の潜在的な問題を検出するのに役立つ高度な診断機能も備えています。LAM RESEARCH 12123エッチャー/アッシャーは、既存の生産ラインにシームレスに統合でき、その高度な機能を活用して、幅広い効率的で費用対効果の高い処理能力を提供できます。