中古 KASHIYAMA MU600X-005 #293642216 を販売中

KASHIYAMA MU600X-005
ID: 293642216
ヴィンテージ: 2016
Dry pump for LAM RESEARCH 2016 vintage.
KASHIYAMA MU600X-005は、マイクロエレクトロニクス製造用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。高精度・高精度・柔軟なエッチング・アッシングが可能です。これは完全にモジュール化されたシステムであり、タスク固有の要件に合わせてカスタマイズされた構成を可能にします。エッチング/アッシングチャンバー、エッチング/アッシングガン、廃棄物処理ポート、コントローラの4つの基本コンポーネントを内蔵しています。エッチング/アッシングチャンバーは、超クリーンで高温環境を作り出すように設計されています。革新的で統合された線形「極性」マシンを備えており、プロセス効率と精度の両方を最適化します。このチャンバーは、さまざまな温度/圧力設定と完全自動監視機能も提供します。結果として得られる高品質のエッチング/灰は、一貫して正確で再現性があります。エッチング/アッシングガンは、高精度で再現可能なエッチング/灰を確保するために、チャンバーと一緒に動作するように設計されています。さまざまな基板サイズに対応できるように調整可能で、ノズルの角度や圧力の広い範囲を提供しています。この銃にはプロセスパラメータを簡単に調整するためのプログラム可能なドライブツールも含まれています。廃棄物処理ポートは、エッチング/アッシングチャンバーから廃棄物を転送するためのユニークな機能です。洗練された多段のろ過アセットが粒子を捕捉し、エッチング/アッシングの残留物がエッチング/アッシング工程内で再循環されるのを防ぎ、効率的で安全な廃棄物管理を保証します。最後に、コントローラはエッチング/アッシング処理を完全に制御し、ユーザーが素早く簡単に設定を調整して目的のエッチング/アッシュを得ることができます。フルカラーのデジタルタッチスクリーンを備えているため、エッチング/アッシングパラメータを簡単に監視および設定できます。MU600X-005は、マイクロエレクトロニクス製造における幅広いエッチング/アッシング作業に理想的なソリューションです。その洗練されたチャンバー設計と精密エッチング/アッシングガンにより、ユーザーは毎回超精密で反復可能な結果を得ることができます。さらに、モジュール設計、統合されたろ過、および高度のコントローラーはそれを非常に有効および使いやすいようにします。
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