中古 JESAGI JSPES-W21 #293761868 を販売中

JESAGI JSPES-W21は、精密ウェーハおよびICパッケージングアプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。完全自動化された装置として、それは現代製造ラインに適しています。このシステムは最先端のコリメータで設計されており、イメージングとエッチング/アッシングのための光学インタフェースが含まれています。マルチゾーン温度コントローラも備えており、エッチング/アッシングを最適化するための正確な温度制御が可能です。JSPES-W21は、高精度な誘電体層堆積のための独自のマルチデポジションプロセスを利用しています。最大50nmの誘電体を除去するように設計されており、高精度のウェットエッチング/アッシング操作にも使用できます。密閉されたチャンバー設計により、汚染のリスクを低減し、一貫したプロセス環境を維持することができます。さらに、位置決めおよびスキャンシステムは、最高の精度と最大のスループットを確保するように設計されています。JESAGI JSPES-W21は、幅広いプロセスパラメータも提供しています。これは、信頼性の高い処理だけでなく、さまざまなプロセス条件のための堅牢なパフォーマンスを提供することが証明されています。誘電体の蒸着、エッチング/アッシング、ストリップパラメータの制御に最適です。このツールは、リアルタイムプロセス監視などの高度な機能を提供し、完全なプロセス制御と最適化を提供します。また、3D Resistivity Measurement機能とクローズドループ・フィードバック技術も備えており、高度なプロセス制御を可能にし、資産のダウンタイムを大幅に削減します。全体として、JSPES-W21 Etcher/Asherは信頼性が高く、安全で効率的なモデルで、現代の製造ラインに適しています。高度な機能を提供し、幅広いウェーハおよびICパッケージングアプリケーションに最適なプロセス条件を迅速かつ正確に達成できます。