中古 JESAGI JSPCS-750 #9253518 を販売中

JESAGI JSPCS-750は、高度なマルチビーム技術と精密プロセス制御を備えた最先端のエッチャー/アッシャーです。このシステムは、FOUPローダー絶縁を備えた真空チャンバーに囲まれており、優れた再現性と正確な薄膜結果を提供します。JSPCS-750は、高度なナノ加工プロセスに最適で、ウェーハあたりのサイクルタイムが20秒で少量生産が可能です。JESAGI JSPCS-750は、ウェーハ全体にわたってパーティクルフリー、低粗度、均一性で、最高品質のエッチングおよびアッシング結果を生成することができます。複数のアプリケーションに1つのプロセスで最適なマルチビーム動作を同時に実現するため、高いスループットと精度を実現します。マルチビーム技術はまた、低コストの操作と最小限のメンテナンスを提供します。信頼性と長期的なパフォーマンスをサポートするために、JSPCS-750は、均一性とエッチング品質を制御するためのセンサーと自動フィードバックアルゴリズムの大規模な選択を備えています。JESAGI JSPCS-750は、高度なエッチングとアッシングのためのさまざまな機能を備えています。高度な不活性エッチング技術により、多種多様なガスをサポートし、低密度損傷で高いエッチング率を実現しています。反応室はまた、290°C〜800°Cの温度に達することができ、幅広い膜厚を作り出すことができます。このチャンバーはまた、プロセス後の高速冷却のための統合基板クーラーを備えています。さらに、JSPCS-750はプロセスの再現性を高めるための洗浄サイクルを備えています。この洗浄サイクルは、半導体アプリケーションに最適です。その低いO2ガス消費量は統合された操作のコストを削減します。FOUPローディングと統合されたオートメーションにより、高速かつ効率的なスループットを実現します。このシステムには、大きなグラフィカルディスプレイを備えた直感的なタッチスクリーンインターフェイスも含まれています。JESAGI JPSCS-750は、幅広いプロセスで優れた結果を提供するハイエンドエッチャー/アッシャーです。その高度なマルチビーム技術、精密プロセス制御、統合されたオートメーションと直感的なユーザーインターフェイスは、高度なナノ加工アプリケーションに最適です。