中古 JESAGI JSPCS-600G #293635086 を販売中

JESAGI JSPCS-600Gエッチング装置は、高精度エッチングと高解像度フォトレジスト除去を必要とするアプリケーションに最適なソリューションです。このシステムには、高性能の直流（DC）スパッタリングソースが装備されています。アルミ、銅、ガラス、ステンレスなど様々な素材のエッチングに適しています。このユニットはまた、優れたフォトレジスト除去機能を提供します。JSPCS-600Gは4チャンバー設計で、それぞれ独立したプロセスチャンバーとプラテンを備えています。プロセスチャンバーは、直径8インチまでのさまざまなウェーハと基板に対応しています。エッチング用のイオン源、エッチング用のフィラメント、フォトレジスト除去用のRFプラズマ発生器で設計されています。6-NCタワーはエッチング速度、選択性、エッチング深度を正確に制御し、エッチング結果を微調整できます。さらに、効率的で真空包装されたハイスループットウェーハキャリアを備え、最大20個のウェーハに対応できる真空ウェーハクランプ機構を備えています。このツールには独自のプロセス制御ソフトウェアが含まれており、エッチングとフォトレジストの剥離時間と結果を最適化するようにプログラムされています。ソフトウェアには、いくつかの定義済みの制御パラメータと、エッチングプロセスをカスタマイズする機能があります。このアセットは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用して、制御パラメータに簡単にアクセスして変更できます。JESAGI JSPCS-600Gは、プロセスパラメータをリアルタイムで監視する高度なセンサパッケージを備えています。これにより、エッチングとフォトレジストの剥離性能を最大限に発揮し、一貫性のある最終結果を得ることができます。このモデルは、プロセスオートメーションにも対応しており、完全にプログラム可能でカスタマイズ可能なパラメータを備えています。JSPCS-600Gには、包括的なオンサイトユーザートレーニングとメンテナンスパッケージ、スペアパーツの可用性が付属しています。要約すると、JESAGI JSPCS-600Gは、さまざまな複雑さのエッチングおよびフォトレジスト除去アプリケーションに最適なソリューションです。高度な4チャンバー設計、高精度の直流スパッタリング源、効率的なウェーハキャリアにより、信頼性が高く使いやすい機器となっています。カスタマイズ可能なエッチングとストリッピングプロセスを備えた直感的なプロセスコントロールソフトウェアは、エッチングとフォトレジストのストリッピングプロセスを完全に制御します。システムの高度なセンサパッケージは、メンテナンス要件を最小限に抑えながら、一貫した最終結果を保証します。