中古 IS Etchmaster #9208096 を販売中
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ID: 9208096
Ammonium etcher
With replenisher chamber
NH3 Demister
Inspection module
Dryer.
IS Etchmasterは、シリコンおよび金属ウェハのエッチングおよびアッシングに使用される工業用グレードのエッチャー/アッシャーです。これは、ISエレクトロニクスによって製造され、その自動化された機器を通じて信頼性が高く、繰り返し可能で、一貫した結果を提供するように設計されています。Etchmasterは、最大200個のウェーハを一度にエッチングおよびアッシングすることができる完全自動エッチングおよびアッシング機です。エッチングとアッシングのプロセスは、ウェーハのサイズ、材料の種類、複雑さに応じて完了するのに20分かかります。IS Etchmasterは、ウェーハ表面から最大3ミクロンの不要な材料を除去できる高出力、低圧、低電圧エッチングガスフローを利用しています。このプロセスは非常に有効で、薄くなること、debitching、合金化およびパターン化を含むいろいろな操作に適しています。Etchmasterの自動システムは、エッチング速度、オーバースプレー、および均一性を優れた制御を提供するように構成されています。ステーションは、エッチング速度、オーバースプレーおよび均一性の特徴をカスタマイズするために、流量、圧力、電圧、およびエッチング化学を調整することができます。さらに、エッチレートが不十分な場合は、ユニットを再プログラムしてより高い圧力および/またはより高い電圧を提供することができます。コンピュータ制御ユニットには、機械操作とパターン選択をプログラミングおよび制御するための13 インチLCDカラーのタッチスクリーンディスプレイも含まれています。さらに、IS Etchmasterは、温度監視やガスの流れの中断などの自動安全機能を備えています。温度が指定された限界に達すると、プロセッサはウェーハを保護するためにプロセスを自動的にシャットダウンします。さらに、可燃性ガスの存在を監視し、危険な濃度が検出された場合にガスの流れが中断されるように機械を調整することができます。全体的に、Etchmasterは信頼性が高く、反復可能で一貫した結果を提供するように設計されている産業等級のエッチャー/asherです。自動化されたツールは、エッチング速度、オーバースプレー、および均一性の特徴をカスタマイズするために、流量、圧力、電圧、およびエッチング化学を調整することができます。さらに、温度監視やガスの流れの中断などの安全機能を備えています。したがって、IS Etchmasterは、シリコンと金属ウェーハの高度なエッチャー/アッシャーをお探しの方に最適です。
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