中古 IPEC PWS-200 #9016268 を販売中

IPEC PWS-200は、シンプルで安全な使用を維持しながら、優れた性能と再現性を目指して設計されたエッチャー/アッシャーです。IPECによって製造されたモデルPWS-200は、耐久性のあるステンレス鋼で構成されており、基板の簡単な積み下ろしのための必要なリフトメカニズムが標準装備されています。IPEC PWS-200は、1分間に最大350ミクロンの典型的なエッチング/灰レートを備えた高速機能を備えており、ウェットエッチングまたはPECVD成膜のためのウェットモードまたはドライモードのいずれかで動作できます。PWS-200チャンバーには2つのガス入力と2つのターボ分子ポンプがあり、さまざまなプロセスパラメータを使用できます。この装置は、直径200mmまでのさまざまな基板サイズに対応するように設計されており、金属、セラミックス、ポリマーなどの幅広い基板に使用できます。IPEC PWS-200は完全に自動化されたプロセスモジュールで、ユーザーは特定のプロセスサイクルに対して最大50個のパラメータをプログラムできます。システムには、メニュー駆動のプログラムインターフェイスを含む統合されたコンピュータが付属しています。これにより、単純なグラフィックユーザーインターフェイス（GUI）からすべてのプロセスパラメータを制御できます。PWS-200には、デジタル信号プロセッサ（DSP）と3つのプロセス制御オプションを含む多目的な分析ユニットも付属しています。これらのオプションには、手動ガスチューニング、補助ガスチューニング、および自動ガスチューニングモードが含まれます。IPEC PWS-200は、安全で信頼性の高い操作を保証する自動安全機能の広い範囲を持っています。それは不正アクセスを防ぐために特別なキーが付いている緊急停止スイッチそしてキーボードを含んでいます。さらなる安全性のために、機械には動作中に発生する危険な変動を感じることができる電圧監視機が装備されています。PWS-200は信頼でき、有効なエッチャー/asherで、優秀な再現性および精密を提供します。使いやすい設計と安全機能により、幅広い科学および産業用途に最適なツールです。